中古 AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9298289 を販売中

AXCELIS/FUSION RapidStrip 320は、高い選択性、可変温度および圧力、および迅速なプロセス速度を実現するために設計された高度なエッチャー/アッシャツールです。シリコン、複合系、GaAsなど様々な基板の加工が可能です。このツールは、浅いエッチング（<10nm）、サブミクロン、ディープエッチング（<20 µm）など、幅広い高真空エッチング速度を提供します。精密なプロセス制御により、エッチプロファイルの再現性が高くなります。このツールは、独自のプロセスチャンバ形状を使用して、多相処理機能を実現します。これにより、複数の基板を同時にエッチングし、複雑なプロセスプロファイルを均一に開発することができます。このチャンバーはまた、処理全体にわたって低磁界を提供し、よりクリーンで信頼性の高いプロセスを可能にします。FUSION RapidStrip 320は、独立したプロセスチャンバー（前面と背面の両方）を備えており、温度と圧力設定が可変されているため、ユーザーはエッチング処理を完全に制御できます。このツールには、犠牲材料の厚さ監視または堆積のための堆積ポートもあります。また、リモートモニタ、リアルタイムプロセスデータロギング、再現性と信頼性の高いエッチングプロセスのプロセスレシピなど、AXCELISelementsとの完全な接続性も提供します。AXCELIS RapidStrip 320の高速リソグラフィ機能により、1分間に最大4枚のウェーハを処理し、解像度10nmまでのパターンを高速かつ正確に印刷できます。また、プロセスのエンドポイントと再現性を正確に制御するために、リアルタイム監視と完全なウェハレベルプロセスレシピによるプロセス制御と高度なエッチプロセス統合を提供します。RapidStrip 320は、最新のプロセス制御および監視技術を使用してユーザーフレンドリーな操作を実現し、再現性と堅牢なエッチングプロセスを可能にします。この機能の組み合わせにより、市場で最も強力で高度なエッチャー/アッシャーの1つになります。