中古 AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9252297 を販売中

AXCELIS/FUSION RapidStrip 320は、エレクトロニクス、自動車、バイオメディカル、ナノテクノロジーなどの業界で使用されるエッチャーおよびアッシャーです。エッチャーとアッシャーは、金属、誘電体、有機物など幅広い基板の分解において優れた性能を発揮します。FUSION RapidStrip 320は、比類のない生産性を実現し、ユーザーが品質を損なうことなくスループットを向上できるスケーラブルなプラットフォームを提供します。AXCELIS RapidStrip 320には真空チャンバーが装備されており、材料を処理するための制御された、汚染のない処理環境を提供します。最大200mmウェーハの処理能力を備え、大型基板負荷にも対応可能です。真空チャンバーは基板を固定するために使用され、排水コレクタはエッチング工程で取り外した材料をトラップします。このチャンバーには静電チャック（ESC）も装備されています。ESCはまた、加工中に材料が移動する可能性を排除し、さらに精度とスループットを向上させます。RapidStrip 320は、深いシリコンベースのエッチング、厚いまたは非常に薄い材料の選択的除去、および交流金属層の最適化されたエッチングなど、幅広いエッチング機能を提供します。特許取得済みのコールドプラズマ技術は、基板の損傷を低減し、イオンエネルギー分布の改善による均一なエッチングを保証します。AXCELIS/FUSION RapidStrip 320のアッシャーは、材料パターニングのためのフォトレジストの均一な沈着を実現するために使用されます。これにより、メモリパッケージとプロセッサパッケージのファインパターニングを実現できます。Asherには使いやすいGUIがあり、ユーザーはレシピとプログラム基板転送を設定できます。FUSION RapidStrip 320は、エッチング機能とアッシング機能の両方で優れた性能を提供します。幅広い材料を素早く正確に分解し、パターニング用のフォトレジストを堆積させ、正確な制御を必要とするプロセスを実行することができます。効率的な真空システム、大型基板負荷、特許取得済みのコールドプラズマ技術により、AXCELIS RapidStrip 320は、さまざまな業界にとって信頼性が高く費用対効果の高いソリューションです。