中古 AXCELIS / FUSION Rapidstrip 210 #293632717 を販売中

AXCELIS/FUSION Rapidstrip 210は、高速、精密なエッチングとアッシング作業用に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。この装置は、反応イオンエッチング（RIE）、化学蒸着（CVD）、ウェットプロセスを組み合わせて使用します。FUSION Rapidstrip 210には2つのエッチングチャンバーが内蔵されており、1つはリアクティブイオンエッチングプロセス用、もう1つは化学蒸着プロセス用です。2つのシステムは、異なるエッチングおよびアッシング要件に最適化されています。このデバイスは、0。2 μ mの解像度まで表面をエッチングすることができ、非常に正確な結果を得ることができます。動作圧力は0。1 mbarと低く、シリコン、III-V材料、有機物などの先端材料を扱うように構成することができます。さらに、AXCELIS Rapidstrip 210は、高度な自動ローディング機能により、非常に高いスループットを実現できます。インラインウェーハカセットローダーは、材料の積み降ろし時に時間を節約できますが、自動化されたプロセス制御システムは操作を簡素化し、ヒューマンエラーのリスクを低減します。このユニットには、さまざまな安全機能が装備されており、機械が安全かつ効率的に動作することを保証します。ガスフローとチャンバー圧力を監視するための安全コントローラと、電気または磁気干渉から保護するためのEMIフィルタを内蔵しています。また、マシンがエラーに遭遇したときの電圧エラーおよび緊急プログラム停止に対する逆極性保護も備えています。さらに操作性を高めるために、Rapidstrip 210はユーザーフレンドリーに設計されています。その直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）は、さまざまなタスクを簡単にナビゲーションできます。さらに、ユーザーは特定のレシピを選択し、頻繁に使用されるレシピを保存してアクセスし、過去のプロセスを確認して、目的のエッチングまたはアッシングプロセスに設定することができます。全体として、AXCELIS/FUSION Rapidstrip 210エッチャー/アッシャーは、高速、正確なエッチングおよびアッシング作業用に設計された高度なツールです。ユーザーフレンドリーなGUI、さまざまな統合安全機能、高精度、および高スループット機能により、幅広いエッチングおよびアッシング要件に適しています。