中古 AXCELIS / FUSION RadiantStrip 320ES #293625715 を販売中

AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320ESは、高度なパターニングアプリケーション向けに特別に設計されたhpa etch/ash機器です。ウエハサイズは200mm〜300mmまで対応可能です。これは、学習曲線を減らし、誤解を最小限に抑えるために、2つの独立した高性能エンドステーションプロセスセルと2つの独立した負荷ロックモジュールを備えています。FUSION RadiantStrip 320ESは、高い生産性と機能の高さの均一性の両方を提供します。これは、優れた制御、詳細なプロセスのエスカレーション機能、およびユニットの動作温度とイベントの直感的な可視性を提供する更新されたユーザーインターフェイスを備えています。さらに、AXCELIS RadiantStrip 320ESは、深い反応性イオンエッチング、ナノパッタニング、化学機械的研磨など、さまざまな高度なプロセスをサポートしています。RadiantStrip 320ESマシンには、一定のチャンバー圧力環境を確保するために調整された高度なターボ分子ポンプ、フォトマスク密度用のプロセス誘発CDバリエーションの良好な削減、および高いアスペクト比の特徴損失の減少も含まれています。その統合されたリモートプラズマ源は、非常に低い周波数で優れた均一性を提供し、他のエッチングシステムに見られる高出力プラズマ源からのプロセスの劣化を最小限に抑えるように設計されています。また、熱予算を最適化し、欠陥を低減するための高度なシングルウェハ冷却機能も備えています。AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320ESも高度なアップグレード性を備えており、お客様のニーズに合わせてツールをカスタマイズできます。追加のエンドステーションセル、短いetc/ashツール、狭いギャップツール、追加のプロセスモジュールなど、さまざまなオプションを備えています。FUSION RadiantStrip 320ESは、高度なメモリやデバイス開発、薄膜トランジスタの製造など、多くの高度なパターニングアプリケーションに最適です。最高品質の材料で設計されたAXCELIS RadiantStrip 320ESは、プロセスの継続性と高い生産性を提供しながら、優れた結果をもたらす信頼性の高い資産です。高度なプロセス技術と柔軟性を備えたRadiantStrip 320ESは、生産ニーズに合わせて効率的で信頼性の高いエッチング/アッシュモデルを必要とするお客様に最適です。