中古 AXCELIS / FUSION RadiantStrip 320 #293822275 を販売中

AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320は、高度なナノ加工プロセス用に設計された専用のエッチングおよびアッシング装置です。ウェーハや基板の薄膜エッチング用に開発された高精度システムです。このユニットは、今日の高精度ナノ加工プロセスに不可欠なクリーンで制御されたエッチングを提供することができます。FUSION RadiantStrip 320は、プラズマの負荷を最小限に抑える独自の設計を提供するプロセスチャンバーです。それは高いエッチング率で低い部屋の圧力を達成するように設計されています。チャンバの構成により、複数のプロセスパラメータを最適化し、高品質のエッチング結果を確実に提供できます。この機械は、高純度の高圧不活性ガスをプラズマ形成ガスと低圧RFジェネレータとして使用し、チャンバー内にプラズマを生成します。その後、プラズマは基板をエッチングするために使用されます。このツールはまた、低電圧とエネルギー消費を提供します。さらに、AXCELIS RadiantStrip 320は、良好な再現性と優れた均一性をプロセスに提供することができます。このアセットは、急速な熱アニーリング、ポリイミドエッチング、窒化ケイ素エッチング、金属薄膜エッチングなど、さまざまなプロセスレシピをユーザーに提供します。各レシピは、温度、圧力、電力、流量などのパラメータで構成できます。また、標準ではないプロセスレシピもサポートしており、ユーザーは特定のアプリケーションのプロセスをカスタマイズできます。RadiantStrip 320は、堅牢な安全機能も備えています。それは安全な労働環境を保障する二重部屋の真空ベースの連結モデルが装備されています。また、ESD保護回路を内蔵しており、ESDサージがエッチング工程に影響を与えることを防ぎます。全体として、AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320は、クリーンで正確なエッチングとアッシングを再現可能で均一な結果で提供できる高度なエッチングおよびアッシング・システムです。このユニットは、アプリケーションとカスタマイズ可能なレシピの幅広いポートフォリオと、ESDサージから労働者を保護する多目的な安全機能をユーザーに提供します。高精度ナノ加工プロセスに最適です。