中古 AXCELIS / FUSION MTL-200A #9087725 を販売中

AXCELIS/FUSION MTL-200Aはエッチャー/アッシャーです。半導体デバイスの製造における多種多様な要件を満たすように特別に設計された高精度、高出力、ドライエッチング装置です。FUSION MTL-200Aは、誘導結合プラズマを使用して、シリコン、ヒ素ガリウム、ポリシリコン、炭化ケイ素、ダイヤモンドなどの様々な材料をエッチングすることができます。アッシングもAXCELIS MTL-200Aのオプションです。高度なプロセス機能により、材料を節約し、サイクルタイムとエネルギー使用量を削減し、材料の損失を最小限に抑えた優れたエッチング結果を提供します。MTL-200Aにはモジュール設計があり、将来のプロセス要件に合わせて簡単にアップグレードおよび拡張できます。その設計は、すべてのPLCロジックを利用した実証済みの技術に基づいており、メンテナンスを最小限に抑えた頑丈で信頼性の高いシステムを可能にします。ユーザーフレンドリーなHMIインターフェースにより、パラメータ分散とプロセスアプリケーションが容易になりますが、さまざまなオプションにより、ユーザーはユニットを特定のプロセス要件に合わせて調整できます。さらに、AXCELIS/FUSION MTL-200Aの内蔵診断機能により、機器やプロセスの不具合を即座に通知し、ダウンタイムと全体的なプロセスコストを削減できます。最後に、FUSION MTL-200Aはさまざまな安全機能と対策を備えており、プロセスの開発と完了のための効率的で安全な環境を提供します。適切な動作を保証するための専用のプログラマブルロジックコントローラ（PLC）、および統合された通気性室圧監視機、および追加の安全のための自動圧力差動警告ツール（PDW）が付属しています。さらに、その制御および監視機能と資産検証は、リアルタイムのフィードバックとプロセス制御を提供し、正確なプロセスのパフォーマンスを可能にします。全般的に、AXCELIS MTL-200Aは、半導体デバイスの製造のための効率的で信頼性の高い安全なエッチャー/アッシャーです。その高度な機能、簡単なメンテナンスと操作、安全対策は、すべてのエッチングとアッシングのニーズに最適です。