中古 AXCELIS / FUSION MTL-200A #9083200 を販売中

AXCELIS/FUSION MTL-200Aは、FUSION Technologies Inc。が設計・製造した高度なプラズマエッチャー/アッシャーで、半導体業界が複雑で繊細な構造を精度と精度で処理することを可能にします。この最新モデルであるFUSION MTL-200Aは、エッチング、アッシング、ドーパント注入などのウェーハ表面処理や修正など、幅広いプロセスで使用するために設計されています。AXCELIS MTL-200Aプラズマエッチャー/アッシャーは、最適化された使用と柔軟性を実現する高度なマルチステーション構成を備えています。MTL-200Aは、片面と両面の両方のウェーハ構成を処理することができ、複数のウェーハを同時に処理できるため、効率とスループットが向上します。さらに、AXCELIS/FUSION MTL-200Aは、エッチングとアッシングの両方を制御するための精密角度のくさび電極を内蔵した高度なデュアルモードプラズマ源を備えています。洗練されたプラズマ源は、ウェーハ表面を損傷することなく、非常に繊細な構造の深い均一なエッチングを可能にします。一方、アッシングはエッチングされた特徴の間で精密に動作し、その後のウェーハ処理のためのクリーンなウェーハ表面を作成します。FUSION MTL-200Aの優れた設計により、温度、圧力、ガス流量などのプロセスパラメータの精度と再現性が保証されます。ガス供給システムと組み合わされたプラズマ電源は、エッチングとアッシングに最適な条件を確保するために高度な制御を提供します。AXCELIS MTL-200Aの高度なソフトウェアシステムは、強力なプラズマ技術に加えて、高度なプロセス制御と追跡を可能にします。このソフトウェアには、完全なプロセス監視および分析のための高度なマッピングおよび診断機能、およびオプションのAPC/EPC機能が含まれています。これらの機能により、プロセスサイクル中にすべての動作パラメータを監視し、各エッチング/アッシュプロセスの詳細を分析し、レシピパラメータを最適化して出力と歩留まりを向上させることができます。結論として、AXCELISのMTL-200A Plasma Etcher/Asherは、半導体産業にとって強力で効率的なツールです。その高度なマルチステーション構成、洗練されたプラズマソース、および優れたソフトウェアシステムが組み合わさり、正確で反復可能で均一なエッチングとアッシングを提供し、優れた歩留まりを提供します。