中古 AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat #9278672 を販売中

AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcatは、高性能で先進的なエッチャーおよびアッシャーであり、さまざまな基板で高精度で複雑な3次元機能を生成することができます。FUSION Bobcatは、先進的なICP-RIE（誘導結合プラズマ反応イオンエッチング）とO3-SE（オゾン対応エッチング）エッチング処理を組み合わせ、チップ、金属、複合材料などの基板において精密で高分解能なパターン定義を実現します。MATRIX Bobcatエッチングシステムは3つの独立したチャンバーで構成され、それぞれ独自の機能セットがあります。最初のチャンバーはコーティングロボットで、ウェーハを適切なコーティングに自動的に接続します。2番目のチャンバーは、深紫外線（UV）光を使用してターゲット材料を正確に露出させるアッシャーです。3番目のチャンバーは、材料を正確にエッチングするためにICP-RIEまたはO3-SEエッチングプロセスを利用するエッチャーです。3つのBobcatチャンバーには、さまざまな調整可能なパラメータが装備されており、AXCELIS Bobcatのエッチングおよびアッシング処理を正確に制御できます。これらのパラメータは、マイクロ波源の電力レベル、エッチング/アッシングガスの流量、ガス組成、エッチング/アッシング時間、電極に印加される電圧、およびプラテン温度の範囲です。各パラメータは独立して調整することができ、エッチングジョブごとに最高の精度と品質を実現します。AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcatには高度なデータ処理システムが搭載されており、ユーザーはエッチングとアッシングのすべてのプロセスをプログラムして監視することができます。このソフトウェアを使用すると、ユーザーはエッチング結果の保存と比較、パラメータの変更、必要に応じてオンザフライの変更を行うことができます。このシステムは、エッチングプロセス全体が再現可能かつ制御された方法で行われることを保証します。全体として、FUSION Bobcatは今日の市場で最も先進的なエッチングとアッシャーの1つであり、さまざまな調整可能な機能を備えているため、高精度で品質の高いエッチングとアッシングに最適です。MATRIX Bobcatは、高度な電子部品や基板の製造、または特殊なアプリケーションのための複雑な3次元構造の作成に最適です。