中古 AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat 209S #9201816 を販売中

AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209Sは、高度な化学機械平面化（CMP）アプリケーション向けに特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。コンピュータ制御の回転プラテンを使用して、エッチングまたはアッシング中にウェーハをプロセスチャンバー全体に移動させ、高いスループットと優れたプロセス制御を提供します。このCMP装置は、ウェーハ表面から材料を正確に除去するための効果的なツールを提供します。FUSION Bobcat 209Sは、CMPプロセスの高度な自動化を提供します。その機能には、高度なプロセスコントローラ、基板内の圧力センサ、スラリー供給を調整する流体供給システム、排気圧力、各プロセスステップの温度および圧力制御、および自動化されたプロセスフラッシュおよびウェーハ洗浄サイクルが含まれます。MATRIX Bobcat 209Sには、オペレータが介入することなく複数のロットサイズを処理できるVDIL（視覚方向不活性エッチング）機能も搭載しています。また、オプションのDPM（回折フィードバック）センサーにより、精密なプロセス制御が可能です。さらに、AXCELIS Bobcat 209Sは、温度および圧力プロファイル、ウェハクリーニングプロファイル、プロセスレシピなど、さまざまなプロセスサポートツールを提供しています。プロセスの再現性と信頼性を高めるため、Bobcat 209Sはレシピ管理ソフトウェアシステムと互換性のあるソフトウェアを採用しています。AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209Sは適用範囲が広いCMP機械です；そのため、エッチバック、化学機械研磨（CMP）、ガスおよび化学エッチング、アッシングなど、さまざまなCMPプロセスをサポートしています。直径200mmまでのウェーハに対応可能です。安全性に関しては、FUSION Bobcat 209SはCEおよびCSAの安全基準に準拠しています。信頼できる設計および安全規格の結果、MATRIX Bobcat 209Sは最大のスループットと効率的なVDIL性能を提供します。さらに、コスト効率、簡単なメンテナンス、幅広いプロセスオプションにより、高度な半導体製造およびCMPアプリケーションに最適です。