中古 AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat 209S #9201805 を販売中

AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209Sは、マイクロプロセッサやDRAMなどの集積回路の製造用に設計されたエッチャー/アッシャーです。FUSION Bobcat 209Sは、高信頼性、高精度、高効率で、エッチングやアッシングに優れた性能を発揮します。直径8インチまでの基板加工が可能で、片面と両面の両方の加工が可能です。システムの電気部品は、200Vの公称電圧で動作するように設計されており、最大600Vまで処理できるため、エッチングおよびアッシングプロセスの制御が向上します。このシステムは、特許取得済みのスイングドアチャンバーも備えており、基板の積み下ろしを迅速かつ簡単に行うことができます。スイングドアはまた、プロセス全体の一貫した温度を維持し、基板温度のばらつきを低減するのに役立ちます。MATRIX Bobcat 209Sはまた、ユニークな統合コンピュータモニターVGA/ビデオカメラを提供しています。これにより、各基板を視覚的に検査してプロセスの一貫性を監視できます。自動エンドポイント検出システムは、エッチングとアッシングプロセスが正しく終了するようにプロセス条件を監視します。さらに、AXCELIS Bobcat 209SはRF対応で、温度制御プラットフォームを備えており、密度、均一性、エッチング速度の安定性を向上させます。また、マスフローコントローラを備えており、プロセス全体にわたって正確な軸蒸着制御を提供します。システムはまた、ユーザーがエッチングとアッシングのレシピをプログラムし、将来の参照のためにレシピを保存することができるように、複数のレシピプログラムをサポートしています。Bobcat 209Sは最大限の能力と効率を実現するように設計されており、短時間で正確で高品質のエッチングとアッシングプロセスを可能にします。性能の向上と生産速度の向上を求めるメーカーに適しています。集積回路のニーズに合わせて信頼性の高いエッチャー/アッシャーをお探しのお客様には、信頼性が高くユーザーフレンドリーです。