中古 AXCELIS / FUSION Integra #9244815 を販売中

AXCELIS/FUSION Integraは、エレクトロニクス製造プロセスで使用される基板やウェーハのエッチングおよびアッシングに使用されるエッチャー/アッシャー装置です。高レベルの精度と制御を提供し、幅広い電子アプリケーションに不可欠なクリーンで高導電性の金属表面を保証します。このシステムは高貴な金属エッチング機能を備えており、集積回路やその他のマイクロエレクトロニクス構造などの電子部品の製造に最適です。また、1「から6」までの基板およびウエハサイズの範囲をサポートしています。このユニットは、エッチングパラメータを正確に制御する強力なプロセス制御ソフトウェアを備えています。エッチングの深さ、均一性、スケール許容差、エッチング速度を正確に制御できます。また、さまざまな回路要件に応じてエッチングパラメータを調整する柔軟性を提供します。プロセスは、廃棄物を最小限に抑え、最適な性能を確保するために、いつでも停止することができます。また、この機械はエネルギー効率が高く、従来のウェットエッチングシステムに比べてエネルギー使用量が大幅に削減されます。FUSION Integraには、有害な大気汚染物質の排出をほぼ99％削減するように設計されたユニークな空気濾過ツールが装備されています。さらに、この資産は水使用量を削減するように設計されており、オペレータは運用コストを大幅に削減できます。モデルは容易な操作、取付けおよび維持のために設計されています。それは容易なセットアップおよび配置のための取付けの指示と供給されます。さらに、この機器は自動メンテナンスサイクルと診断機能を備えているため、ユーザーは余分な人員を必要とせずにメンテナンス作業を実行できます。AXCELIS Integraは、多くの種類のエッチングおよびアッシング用途向けに設計されています。一般的には、接着層、クリーンウェーハを作成し、多層構造を作成するために使用されます。また、MEMSやナノデバイスなどの微細な表面のエッチングにも使用されます。このシステムは、安全法および労働者保護を含む、適用されるすべての規制およびガイドラインに安全かつ準拠するように設計されています。それは安全で、迎合的な操作を保障するために安全文書およびサポートと供給されます。さらに、ほこりや化学物質が逃げないように設計されており、安全な作業環境を確保しています。全体として、Integraは効率的で高度なエッチング/アッシング機であり、多くの種類のエッチングおよびアッシング用途に柔軟な制御と精度を提供します。メンテナンスが容易な設計となっており、幅広い基板サイズに対応しています。また、エネルギー使用量と危険な排出量を最小限に抑えながら、安全でコンプライアンス性の高い動作を保証します。