中古 AXCELIS / FUSION Integra #9201835 を販売中

AXCELIS/FUSION Integraは、半導体製造業界の大量加工用に設計された高度なエッチングおよびアッシング装置です。この高度なシステムは、プラズマエッチングと炉アッシングの両方を組み合わせ、1つのユニットで複数の機能を可能にする柔軟性を備えています。機械は非常に信頼性が高く、効率的で、最も洗練された半導体製造プロセスの要求を容易に満たします。FUSION Integraは、さまざまなウェーハサイズの処理が可能で、最大6エッチングと4アッシングを同時に実行することができます。このツールは、50インチ（1270mm）のICPソースとマルチゾーン絶縁チャンバで構成され、長時間のプロセスで安定した動作を提供します。エッチングプロセスでは1時間あたり最大75ウェーハ、アッシングでは最大25ウェーハの高いスループット能力を備えています。このアセットには、性能と信頼性を向上させるためのデュアルチラー冷却モデルと、プロセス全体で一貫したガス圧力を確保するために生成された不活性ガス供給装置を備えています。AXCELIS Integraは直感的でユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、最大50個のレシピを保存して素早く簡単にアクセスできます。また、チューニングされたPIDアルゴリズムを備えた強力で高効率な制御ユニットを備えており、柔軟で正確で反復可能なプロセス制御を提供します。また、精密クリーニングステーションを備えているため、工程間で工具部品を簡単かつ効果的に洗浄できます。人員の安全を確保するために、Integraには多くの安全機能が組み込まれています。このアセットには、プロセスの偶発的な起動またはシャットダウンを防止するためのインターロック、安全、操作、および緊急停止機能を確保するための火炎検出システムが装備されています。全体として、AXCELIS/FUSION Integraは、エッチング、反応イオンエッチング、アッシングプロセスに最適な先進モデルです。この装置は、信頼性が高く効率的で使いやすいソリューションを提供します。