中古 AXCELIS / FUSION GPS #9226279 を販売中
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ID: 9226279
ウェーハサイズ: 8"
Dual chamber UV Stabilizer / Bake system, 8"
With 3-Axis robot
Missing parts.
AXCELIS/FUSION GPSは、プロセス統合と生産の両方に優れたプロセス制御、再現性、生産性を提供する高度なエッチングおよびアッシャープラットフォームです。ソフトウェア、ハードウェア、消耗品の包括的なスイートが含まれており、さまざまなアプリケーションで高精度で高再現性のプロセスを作成できます。FUSION GPSプラットフォームは、さまざまなソフトウェアおよびハードウェアコンポーネントを備えた強力な制御モジュールを備えているため、さまざまなプロセス構成に適しています。このソフトウェアは、柔軟性が高くユーザーフレンドリーであるように設計されており、ユーザーはシステムを迅速かつ効率的にプログラムして制御することができます。このシステムは、さまざまなエッチング化学およびメディアと組み合わせて使用することができ、統合処理、生産、および接触リソグラフィ用途に適しています。AXCELIS GPSプラットフォームのハードウェアコンポーネントは、電子ビーム源、光学ユニット、ウェハステージ、イオン源で構成されています。電子ビーム源は、半導体材料の特徴を選択的にエッチングするために使用される高エネルギーのビームを生成します。光学ユニットは、高エネルギービームの適切なピント合わせを可能にし、エッチング工程を最適化するために設計されたシャッター制御などの機能を備えています。ウェーハステージにより、ウェーハを回転させて移動させ、すべての機能を均一に処理することができます。最後に、イオン源を使用してイオンをターゲット基板に埋め込み、エッチング処理をさらに強化します。GPSプラットフォームには、人員と施設を保護するために設計されたさまざまな安全機能が装備されています。これらの機能には、高解像度のフラットパネルディスプレイと高度な安全インターロックが含まれます。これは、処理中に発生する圧力、真空、温度の変化を検出し、安全でないイベントが発生したときにオペレータに警告します。さらに、このプラットフォームには、処理環境を涼しく清潔に保つように設計された統合されたクライオ冷却システムが含まれています。最後に、AXCELIS/FUSION GPSプラットフォームは、あらゆるアプリケーションで有望な結果を確実にするために、消耗部品や材料の範囲を含みます。消耗マスクからサンプルホルダー、ケーブルなど、プラットフォームは各エッチングおよびアッシングプロセスにおいて信頼性の高い一貫したパフォーマンスを保証します。時間が経つにつれて、プラットフォームは優れた反復可能なプロセス結果をもたらします。
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