中古 AXCELIS / FUSION Gemini #293767155 を販売中

AXCELIS/FUSION Geminiは、最も複雑なデバイスにおける半導体やその他の材料の正確で正確なパターニングを行うように設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、集積回路やその他の高感度の回路ベースのデバイスの製造のための産業用設定に使用されます。FUSION Geminiは、洗練された真空加工チャンバー、高出力レーザービーム、複数のロボットサンプル処理スキームなどの強力な機能を備えています。真空チャンバーは、汚染やその他の悪条件を導入することなく、エッチングおよびアッシング処理を行うことができる制御環境を可能にするユニットの重要な要素です。さらに、チャンバーの密閉設計と強力なろ過機は、チャンバーに入る粒子の可能性を減らし、入力する粒子を洗浄します。AXCELIS Geminiの高出力レーザービームは、高分解能と高スループットレートの両方を提供することにより、精密エッチングとアッシングを可能にします。このレーザーは、超高精度のサブミクロン範囲（100万分の1インチ未満）で許容レベルのフィーチャーサイズを作成することができます。さらに、レーザービームは調整可能であり、多様なエッチング操作と材料のテーラードプロファイルを可能にします。Geminiはまた、エッチングとアッシングの手順を支援するために、複数のロボットサンプル処理スキームを利用しています。ロボットアームを使用してサンプルを操作または拾うことができ、個々のデバイスをエッチングまたはアッシュすることができます。ハンズフリーモデルによっては、複数のサンプルを一度に読み込むことができ、時間と労力を節約できます。さらに、複数のチャンバーを使用することができ、高スループットが必要な場合にも同時に処理することができます。最後に、AXCELIS/FUSION Geminiツールは、安全性と信頼性を念頭に置いて設計されています。サイレンアラーム、緊急停止オプション、多数のセンサーなどの安全機能を備えており、プロセス状況を監視します。さらに、頑丈な設計と頑丈な構造により、長寿のために構築され、頑丈な使用にさらされても時間のテストに耐えることができます。全体的に、FUSION Geminiは、産業環境における高感度デバイスの製造に最適な強力なエッチャー/アッシャーモデルです。AXCELIS Geminiは、洗練された真空チャンバ、高出力レーザービーム、ロボットサンプルハンドリングスキームを備え、比類のない解像度とスループットの両方を提供します。