中古 AXCELIS / FUSION Gemini Polo #9398809 を販売中

AXCELIS/FUSION Gemini Poloは、半導体業界の精密アプリケーション向けに設計された、コンパクトで高スループットエッチング/アッシャー装置です。シンプルで直感的なユーザーインターフェイスを備えており、効率的で簡単な操作が可能です。自動化された高精度軸ステージを備え、優れた精度と再現性を提供します。FUSION Gemini Poloは、高度なエッチングとアッシング機能を備えた基板加工に最適です。AXCELIS Gemini Poloは、スペースが限られているラボに最適なシンプルで省スペースなデザインです。これには、リアルタイムのプロセス監視と制御のためのオンボードの二次電子イメージング（SEM）ユニットが含まれています。このマシンには、最適な結果を得るためにレシピを分析して調整するインテリジェントな自動調整機能も含まれています。Gemini Poloには大規模なWebベースの監視ツールインターフェイスがあり、外部ソースからの処理を簡単に制御および監視できます。強力なエッチング/アッシャーは、優れた均一性、精度、再現性を提供するHiDefプラズマ資産を利用しています。大型プロセスチャンバーは、250〜800mmのチャンバーサイズを提供し、幅広いプロセスアプリケーションに適しています。AXCELIS/FUSION Gemini Poloは自動圧力制御モデルも使用しており、すべての圧力レベルで最適な性能と再現性を保証します。高いスループット、精度、信頼性を備えたFUSION Gemini Poloは、優れたエッチング/アッシング精度を必要とするウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションです。堅牢なハードウェアと高度なソフトウェアツールを備えた機器の互換性により、特定の要件に応じてプロセスをスケジュールして実行する柔軟性を提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと使いやすいレシピエディタにより、AXCELIS Gemini Poloは忙しい研究室に理想的なエッチング/アッシャーです。