中古 AXCELIS / FUSION Gemini PCU #9258508 を販売中

AXCELIS/FUSION Gemini PCUは、多くの場合、FUSION Gemini PCUと呼ばれ、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）を使用してさまざまな材料を堆積およびエッチングするエッチングおよびアッシングツールです。AXCELIS Gemini PCUは、さまざまな基板上で高精度のエッチングとアッシングを可能にします。半導体業界のエッチングとアッシングに最適で、解像度と再現性に優れています。Gemini PCUは、低圧環境で数百ワットの電力を生成するために低電圧、高出力の無線周波数エネルギーを使用して動作します。この環境は、エッチング処理のための材料の層の堆積を容易にするために使用されます。エッチング工程は、プラズマで満たされた別のチャンバーに材料を通過させることによって達成されます。このチャンバーで生成されたプラズマは、複数のセンサーやその他の電子部品によって監視および制御されます。エッチング処理は、初期エッチングとポストエッチングの2段階で行われます。最初のエッチングはバイアス電圧を使用して、PECVDによって堆積された材料層をエッチングします。この材料は、基板にエッチングされたパターンによって決定される形でエッチングされます。エッチング後のプロセスは、より高出力のイオンビームを使用して、パターンの形状を基板にさらにエッチングします。これは、メーカーが開発した校正されたエッチング戦略を使用することによって達成されます。AXCELIS/FUSION Gemini PCUは、銅、アルミニウム、スズ、タングステン、ガラス、シリコンなどの幅広い素材をエッチングおよびアッシングすることができます。これにより、複雑なエッチングパターンとアッシング要件が関与するアプリケーションに最適です。また、非常に再現性が高く、任意の基板が毎回同じエッチングとアッシングの結果を維持することを意味します。FUSION Gemini PCUは、信頼性が高く強力なエッチングおよびアッシングツールと考えられています。高品質、高精度、再現性のある結果を生み出すことができるため、半導体業界のエッチングやアッシングに最適です。その精度と再現性により、エッチングやアッシングが必要な他のさまざまな用途にも適しています。