中古 AXCELIS / FUSION Gemini GPS #9272582 を販売中

AXCELIS/FUSION Gemini GPSは、高精度、高アスペクト比のマイクロエレクトロニクス構造を製造するために特別に設計された最先端のエッチング/アッシングマシンです。このツールの重要な特徴は、その高エッチングおよびアッシング解像度です。均一なリニアエッチレートと20ミクロンの構造フィーチャーサイズによって実証されています。FUSION Gemini GPSは、複雑な3D構造を持つウェーハの高度な製造に最適です。AXCELIS GEMINI GPSには2つの独立したチャンバーが装備されており、それぞれにスタンドアロンの8軸ロボットが搭載されており、正確なウェーハの位置決めと操作が可能です。ウェーハを多軸的に動かすこの機能により、再現可能な位置決めが可能になり、完全に自動化されたプロセス実行が可能になります。さらに、多軸運動により、複数の加工レシピを使用することができ、角度付きランドスケープパターニングなどの高度な技術を可能にします。AXCELIS/FUSION GEMINI GPSは、高性能な処理エレクトロニクスパッケージによって駆動されます。可変プログラム可能なRF/DC電源出力、最大8軸のフルモーション制御、およびマシンI/O制御用の32デジタル入力および出力を備えています。これらの機能はすべて、正確なプロセス制御を可能にし、より高い歩留まりと予測可能なパフォーマンスに変換します。FUSION GEMINI GPSには、プロセス品質を向上させるための高度な機能がいくつかあります。統合されたマルチビジョンシステムにより、ウェーハのアライメントとチェックを自動化し、正確なプロセス結果を保証します。さらに、高度な高精度RFパワー制御とダイレクトドライブACバルブを使用して、オンザフライのガス流量調整を行い、プロセス環境を正確に制御します。結論として、GEMINI GPSは、高精度、高アスペクト比のマイクロエレクトロニクス構造の生産のために特別に設計された、強力で信頼性の高いエッチング/灰マシンです。多軸運動、可変RF/DC電源、マルチビジョン、精密ガス制御により、高度で高収率な処理が可能です。これは、高度なマイクロエレクトロニクスファブのための理想的なソリューションです。