中古 AXCELIS / FUSION Gemini GPL #293757340 を販売中

AXCELIS/FUSION Gemini GPLは、今日最も要求の厳しいプロセス要件を処理するように設計された高度なエッチャーおよびアッシャー装置です。このシステムは、高スループット、高性能、および低コストの所有者向けに設計されています。マルチチャンバーアーキテクチャを搭載し、複数の同時プロセスを実行することで生産性を向上させます。このユニットは、最高解像度0。1 μ mの比類のない再現性とプロセス制御を提供し、ワイヤボンディング、ダマシン、フリップチップアセンブリなどのアプリケーションが信頼性の高い再現性のあるプロセス結果をもたらすことを保証します。このマシンは、完全に自動化されたロードロックを備えた大型加工チャンバを備えており、このツールを迅速かつ安全にロードすることができます。レーザーベースのアクチュエータで高解像度のレシピ付着、材料精度と高速処理のためのデュアルビームソース、プロセス制御を向上させるリアルタイムモデルのイベントロギングを備えています。また、非標準材料をエッチングするための統合プラズマ源、柔軟性のためのプログラム可能な低圧オプションなどの高度な機能を備えています。この装置には、一貫したスループットと信頼性の高い再現可能なエッチングと灰の結果を得るための高度な加熱シャワーシステムも装備されています。これは、危険な状況を回避するために、エンドポイント検出やガス安全システムなどの安全機能を内蔵しています。さらに、FUSION Gemini GPLにはOEEトラッキングとグラフィックログが組み込まれており、プロセスエンジニアは最適化の領域を特定するためにデータを分析および比較することができます。さらに、AXCELIS Gemini GPLには直感的なユーザーインターフェイスが付属しているため、レシピを迅速に作成および処理できます。また、3Dプロセスマップを表示して、変動性を特定してレシピを最適化することもできます。全体として、Gemini GPLは、信頼性が高く、繰り返し可能で費用対効果の高い結果を提供するように設計された高度なエッチャーおよびアッシャーユニットです。洗練されたスキャナ機、高度なプロセス制御および監視機能、改善されたプロセス制御、安全機能とエンドポイント検出のためのリアルタイムツールイベントロギング、統合プラズマソース、高度な加熱シャワー資産、および柔軟性を高めるためのプログラム可能な低圧オプションを備えています。これらのすべての機能を備えたAXCELIS/FUSION Gemini GPLは、今日最も要求の厳しいエッチングおよびアッシング用途に最適なソリューションです。