中古 AXCELIS / FUSION G03 #9261541 を販売中

AXCELIS/FUSION G03は半導体産業で使用される高性能の電気化学エッチング/プラズマアッシング装置です。半導体業界におけるウェハレベルおよびダイレベルデバイスの製造用に設計されています。FUSION G03は、半導体表面の高密度、高精度、高性能のエッチングに必要な究極の精度と制御を提供します。AXCELIS G03は、多くの異なる半導体プロセスにおいて、コスト、柔軟性、互換性、生産性の面でいくつかの利点を持つ柔軟性の高いシステムです。それは否定的なおよび肯定的なフォトレジストのフィルムの速いashingのための選択の多層フォトレジストのマスキングそしてパターンのために設計されています。G03は、高精度なエッチング深度を可能にする可変電力設定を構築しており、さまざまな抵抗特性に合わせて調整することができます。一方、RFバイアス電力は、低抵抗から高抵抗までのすべてのタイプの材料の完全なエッチングを保証します。AXCELIS/FUSION G03は、高い歩留まりと優れたスループットで均一で高品質なエッチングとアッシングの結果を提供するように設計されています。その動作は高性能の制御ユニットによって制御され、そのエッチング処理は、異なるウエハとダイサイズのために調整することができます。FUSION G03には、精密エッチング用の電子チューニング可能な発振器、制御性を高めるためのさまざまな内部および外部ガス分配システム、および操作と監視を容易にするための高度なユーザーインターフェースが装備されています。また、多層エッチングや複数のマスク戦略など、多種多様な精密エッチング構成を提供します。AXCELIS G03は、自動シャットダウン、緊急停止スイッチ、強制換気などの幅広い安全機能を備え、潜在的な危険からオペレータを保護するように設計されています。また、構成済みのDMAスケジューラと、効率的なエッチング操作のための内蔵のアラームマシンも含まれています。全体として、G03は信頼性と信頼性の高いエッチング/プラズマアッシングツールであり、迅速な処理時間と優れた生産性で精密エッチングを保証します。多種多様な基板の高品質エッチングプロファイルを維持するように設計されており、半導体業界のすべての要件を満たしています。