中古 AXCELIS / FUSION G03 #9261537 を販売中

AXCELIS/FUSION G03は、チップ製造業界のハイスループット生産用に設計された最先端のエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、ポリシリコンの深いエッチングから窒化物層の浅いエッチングまで、さまざまなプロセスを実行できる堅牢なロボットハンドリングユニットで設計されています。マシンは、レシピに応じて30〜4分のサイクルタイムで、1つのシーケンスで複数のエッチングプロセスを実行することができますマルチチャンバー構成を持っています。FUSION G03の中核はAdvanced Mode Synchronized Etch （AMS-E）アーキテクチャで、エッチプロファイルを最適化するためにソフトウェアを実行するインテリジェントな32ビットコントローラーを使用する高度なコンピューター制御エッチチャンバーを使用しています。これは、各チャンバーのRF周波数、プラズマガス化学、圧力を独立して制御する複数のプラズマ源を備えており、さまざまな材料に最適化されたエッチング条件を可能にします。さらに、このツールは、プロセスの均一性と生産品質の両方を保証する一連のレシピモニタリング、ウェーハトラッキング、およびチャンバークリーニングシステムで設計されています。特に、組み込みのAPC （Automated Process Control）アセットは、ウェハレベルのプロセスチューニングを自動化してリアルタイムプロセスを監視し、レシピの精度を向上させ、製造中のレシピの手動チューニングの必要性を低減します。また、高解像度カメラを搭載した統合ビジョン装置を搭載し、エッチング後にウェーハを完全にイメージングすることができ、ウェーハレベルのプロセス検証と欠陥検出の両方を可能にします。TeraScan WFS190は、複数のプローブを介して着信ウェーハを監視することでシステム内の粒子レベルを検出することができます。全体として、AXCELIS G03には、チップの効率的で信頼性の高い高歩留まり生産を確保するために、さまざまな業界をリードする機能と技術が搭載されています。エッチング速度、優れたレシピ精度、プロセスの均一性、プロセスの最適化、ウェーハレベルの分析を提供するため、チップメーカーはコスト効率を最大限に高め、競争力を高めることができます。