中古 AXCELIS / FUSION G03 #9187680 を販売中

AXCELIS/FUSION G03は、高性能半導体ウェーハ処理用に設計された先進的なエッチャー/アッシャー装置です。この高度なシステムは、比類のないレベルの制御、柔軟性、および信頼性を提供します。このユニットは、エッチングとアッシングの両方のアプリケーションに最適で、ユーザーに高度な機能と機能を提供します。FUSION G03は、複数のエッチングおよびアッシング作業を同じマシンで実行できる高度なマルチチャンバー設計を備えています。このツールには、高効率の真空ポンプが装備されており、正確なプロセス制御と高スループットを実現しています。この資産は、一貫したパフォーマンスを保証する特許取得済みの「ターンキー」技術を使用しています。さらに、最大限の柔軟性と精密なエッチングとアッシングを実現するデュアルソース電源を搭載しています。AXCELIS G03は、優れたチャンバー制御技術を提供し、ユーザーはエッチングとアッシング条件を微調整することができます。チャンバーは、精密かつ反復可能なエッチングおよびアッシング条件を達成するようにプログラムすることができます。この装置には、エッチングおよびアッシングプロセスの圧力を管理するための自動圧力制御システムも装備されています。G03は、最も要求の厳しいエッチングおよびアッシング要件を満たすように設計されています。このユニットは、プロセスの再現性とプロセス制御の高いレベルを維持しながら、非常に高いエッチング速度と高いスループットを生成することができます。また、高度なプロセスモニタリング機能とデータロギング機能を備えており、ユーザーはプロセス結果を追跡および分析することができます。最後に、AXCELIS/FUSION G03は、安全な動作を確保するために複数の安全機能を備えた最大のオペレータ安全のために設計されています。全体的に、FUSION G03は、他の資産に比類のないレベルのパフォーマンス、柔軟性、および制御を提供する高度なエッチングおよびアッシングツールです。このモデルは、高レベルのプロセス制御を維持しながら、高いエッチング速度とスループットを生成することができます。また、強力なプロセスモニタリング機能とデータロギング機能を備えているため、プロセスの結果を簡単に追跡および分析できます。最終的に、システムは最大のオペレータの安全のために設計されており、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に最適です。