中古 AXCELIS / FUSION G03 #9187678 を販売中

AXCELIS/FUSION G03は、半導体製造用に設計された高性能・中型エッチャー/アッシャーです。この装置は、最高のプロセス柔軟性と高速実行時間を提供し、最高レベルの品質と応答性を確保するための高度な制御および監視システムを提供します。このエッチャー/アッシャーは、2つの誘電体を含むエッチングユニットに塩素ベースの化学を使用しており、望ましい結果に簡単に最適化することができます。FUSION G03は、マルチレベルのプロセスモニタリングマシンとミッドチャンバーアットウェーハ温度測定を含む高度な制御コンポーネントを提供します。このツールは、専用のクリーニングチャンバーや環境管理モデル（EMS）を含む強力な正確なクリーニングアセットでも有効になります。これにより、ユーザーは最適なエッチング結果を得るためにクリーニングプロセスを制御することができます。また、AXCELIS G03は、高いアスペクト比を実現する高度なチャンバジオメトリも提供します。また、ユニークな回転ウエハホルダーを備え、均一なエッチングを保証し、均一な熱条件を維持するための均一な加熱オプションを提供します。さらに、この機器のソフトウェアパッケージは、プロセス制御、バッチシーケンス管理、レシピ管理などのさまざまなモジュールを備えています。G03には、さまざまな半導体デバイスの製造に理想的な選択肢となる多くの機能があります。このシステムは、ほとんどの一般的なフォトレジストと互換性があり、エッチングプロセスを正確に調整するために、複数のガスメーター構成を備えた寛大なガスフロー機能を備えています。さらに、安全な作業環境を確保するために、セキュアドアインターロックマシンや複数の安全センサーなど、多くの安全機能を備えています。AXCELIS/FUSION G03は、優れた生産性と優れた結果を保証するために動作する信頼性の高い効率的なエッチャー/アッシャーツールです。高度な制御部品、チャンバージオメトリ、独自の回転ウェーハホルダーにより、あらゆる半導体生産環境に最適です。