中古 AXCELIS / FUSION G03 #9187640 を販売中

AXCELIS/FUSION G03は、今日の高度な半導体生産のニーズを満たすように設計された高度なエッチャーおよびアッシャーです。様々な材料をエッチング、アッシャー、アニールし、優れた精度と再現性で正確なパターンを生成することができるマルチステーション、マルチステージプロセスツールです。FUSION G03は堅牢な構造と信頼性の高いオートメーション機器を備えているため、多種多様な複雑な部品の製造に最適です。AXCELIS G03は、エッチング、アッシング、アニーリング操作を単一のソリッドステートユニットで組み合わせた300mmフルプロセスチャンバーを備えています。これにより、複雑な設計や製造工程での複雑な故障の場合でも、一貫したプロセス環境が確保されます。圧力、流量、温度、ガス混合物などのプロセスパラメータを正確かつリアルタイムに制御する非常に汎用性の高い堅牢なオートメーションシステムを備えています。G03は、エッチング工程を細かく制御するために多種多様なエッチングおよびアッシャーレシピを使用しており、すべての部品が正確に成形され、厳しい設計要件を満たしていることを保証しています。本機は、フルフィールドキャパシティカップリングエッチャーおよびアッシャーであり、幅広い材料やプロセスに対応できる機能セットを備えています。軸および放射状の異方性がユニットに組み込まれており、シングルテールおよびオーバーカットの重要寸法を厳密に制御できます。AXCELIS/FUSIONの高度な安全機能G03、常にオペレータの安全性を確保し、高リスク領域での生産に最適です。統合された安全マシンは、温度監視、冷却水システム、および緊急停止手順を備えています。さらに、この機械は、最も厳格な安全規制を満たすように設計されており、オペレータに安全な作業環境を提供します。FUSION G03は、高効率で信頼性が高く、繰り返し可能なエッチャーとアッシャーです。多種多様な複雑な部品の製造に最適で、信頼性の高いオートメーションツールにより、スムーズで迅速な生産プロセスを実現します。堅牢な構造と統合安全システムにより、今日の厳しい半導体生産環境での使用に最適です。