中古 AXCELIS / FUSION G03 #9187639 を販売中

AXCELIS/FUSION G03は、ハイテク部品で構成され、精密エッチングとアッシング技術を提供するために設計されたプラズマエッチングおよびアッシャーです。単一の高性能パッケージでエッチングとアッシングの両方の機能を組み合わせた、コンパクトでありながら汎用性の高いマシンです。FUSION G03は、さまざまな業界や分野のマルチマテリアルプロセスにおけるエッチングやアッシングの困難なニーズの解決に最適です。AXCELIS G03は、磁気発火アークを備えた強力なイオン源を含む、多くの高度な機能を備えており、低レベルから高レベルまで拡張可能な電力密度を可能にします。これにより、複数の材料サーフェスにわたるすべてのエッチングのニーズに対応するためのプロセスの柔軟性が向上します。また、高度なリニアイオンソース設計により、化学分布の改善により、より均一で制御可能なエッチングが可能となり、最適なエッチング結果が得られます。このデバイスは、高速エッチング速度が可能で、最大30nm/minの生産速度を実現しています。G03は、大規模生産でも優れたエッチング均一性を保証するユニークな2ゾーンプロセスチャンバーを装備しています。そのモジュラー設計により、メンテナンスと操作が容易になります。湿度センサシステムは汚染防止に役立ち、対流冷却システムはプロセス温度を抑えるのに役立ちます。このデバイスは、さまざまな監視および診断システムと統合されており、ユーザーにエッチング処理の詳細な理解を提供します。AXCELIS/FUSION G03は、リモートモニタリング機能と制御機能の両方を備え、手動モードまたは自動モードで操作できます。エッチング端点をリアルタイムで監視する自動エンドポイント検出アルゴリズムなど、最新の処理技術を搭載しています。このデバイスはまた、プロセスに関する詳細な情報を提供するためにダウンロードできるエッチング結果のログを維持します。直感的なUIと統合されたタッチスクリーンディスプレイを含むユーザーフレンドリーな機能により、FUSION G03は技術的専門知識の少ないスタッフに最適です。その安全機能には、不正なプロセスの起動を防止するための取り外し可能なキーが含まれています。このデバイスはまた、ほこりや他の粒子から保護する堅牢な保護ハウジングで構築されています。全体として、AXCELIS G03は信じられないほど信頼性が高く、高性能のプラズマエッチャーとアッシャーで、さまざまな業界や分野のニーズに対応して設計されています。その革新的な設計は、プロセス能力の広い範囲を提供し、繰り返し可能で信頼性の高い結果を可能にします。