中古 AXCELIS / FUSION G03 #9187636 を販売中
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AXCELIS/FUSION G03 etcher/asherは、研究から製造まで幅広い用途に設計されたハイエンドの産業用精密エッチングおよびアッシング装置です。高品質で高精度な製品を製造するために、高精度かつ再現性を提供するように設計されています。FUSION G03は、柔軟性と複数のプロセス機能を備えたフル機能のユニットで、さまざまなアプリケーションのニーズを満たすことができます。AXCELIS G03は、高精度と再現性を提供するように設計されています。機械は精密真空チャンバーで構成され、洗練されたモーションコントロールツールと真空ポンプを備えています。これにより、繰り返し可能で一貫したエッチングとアッシングの結果が保証されます。G03には、エッチングプロセスをさらに強化するためのガス蒸着源も備えています。AXCELIS/FUSION G03は、パラメータの設定、エッチング/アッシング時間の監視、リアルタイムのフィードバックを提供するユーザーフレンドリーなインターフェイスを介して制御されます。FUSION G03の精密チャンバーは、サンプル汚染を低減し、エッチングおよびアッシングプロセス全体で安定したベースプレッシャーを維持するように設計されています。FUSION独自のEtchFlux™機能により、ガス消費やヒーター電力を増加させることなく、非常に細かいステップで複雑な形状をエッチングできます。これにより、エッチングとアッシングの結果をより良く制御できます。AXCELIS G03は、複数のプロセス機能も提供します。これは、材料エッチング用途の広い範囲の腐食性、高貴、および危険ガスを含む複数のエッチングおよびアッシングガスと互換性があります。また、高感度温度制御により非常に高い再現性を実現し、エッチング誤差を最小限に抑えます。産業レベルの機能にもかかわらず、G03は直感的でユーザーフレンドリーです。用途に応じて、ミリメートルから数百ミリメートルまでのサンプルサイズとして使用できます。また、強力な診断パッケージを備えており、問題を迅速に特定し、資産をタイムリーにバックアップして実行できるようにします。全体として、AXCELIS/FUSION G03は、高精度、再現性、柔軟性を備えた高度なエッチャー/アッシャーです。高精度のエッチングおよびアッシングプロセスに最適で、産業および研究用途に適しています。
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