中古 AXCELIS / FUSION ES3 #293822281 を販売中

AXCELIS/FUSION ES3 etcher/asherは、Ultratecxa™ウェーハおよびAccubond™ウェーハ用の完全自動カセット-カセット基板処理システムを備えた高度なエッチング装置です。フュージョン・ES3は、ウェーハ搬送ユニットを全自動にすることで、極めて高い歩留まりを実現するとともに、最高レベルのプロセス再現性と安定性を提供します。AXCELIS ES3は、互換性のある高スループットサセプター設計により、より高いスループットを実現します。サセプター設計には、上段のウェル・ジオメトリがあり、カルテットのRS36とRS46のスロット構成が含まれています。これらの変数は、全体的なエッチング工程の改善に貢献し、粒子サイズを大幅に削減してより大きな材料除去を可能にします。さらに、エッチャー/アッシャーES3エッチングプロセスに関して優れたマッチングを提供します。このエッチレートの均一性により、より高いレベルの再現性と制御が可能になります。エッチングの均一性は、4つのコーナーオフセットと8つのミッドフィールドフォトセルセンサーを使用して監視されます。このモニタリングマシンは、総エッチング工程を超微細に制御します。AXCELIS/FUSION ES3エッチャー/アッシャーは、独自のプロセス制御ソフトウェアを搭載しています。このソフトウェアは、多数のエッチングプロセスの一元管理とデータ管理を提供し、複数のユーザーによる共有プロセスデータへのアクセスを可能にします。このプラットフォームにより、お客様は独自のプロセスを作成したり、他の確立されたプロセスからパラメータを開発したりすることができます。FUSION ES3エッチャー/アッシャーは安全性を念頭に設計されています。これは、アクセスドアと取り外し可能な排気ポートを備えた完全に囲まれた真空環境に収容されています。この封じ込めツールは、エッチング工程から危険な副生成物が偶発的に放出されるのを防ぐだけでなく、労働者や機器を危険なガスや材料から保護するように設計されています。全体として、AXCELIS ES3エッチャー/アッシャーは、高度なハイスループット半導体エッチングおよびアッシング資産です。サセプター設計は直感的で人間工学に基づいており、エッチング処理の再現性と制御性を向上させます。幅広いプロセスサポート、安全機能、便利な操作制御モデルを備えており、信頼性の高い効率的なエッチング機器をお探しのユーザーに最適です。