中古 AXCELIS / FUSION ES3 #293802351 を販売中

AXCELIS/FUSION ES3 etcher/asherは、プラズマエッチング、プラズマアッシング、およびその他の関連プロセスに最先端の技術を提供する統合ソリューションです。これは、プロセス化学を制御する有名なプラットフォームであるFUSION RFジェネレータとFUSION ES3エッチャー/アッシャーチャンバーの組み合わせです。AXCELIS RFジェネレータは、エッチングおよび/または灰プロセス用の300MHz パルスRFソースを誇ります。それはプロセスの精密な制御そして均等性を可能にする広い範囲力および時間制御モードを特色にします。RFジェネレータには、2つの独立した周波数帯域で電力を制御するように構成できる革新的なデュアル周波数制御装置も装備されています。この機能により、プロセスの均一性が最適化され、プロセス条件の変化に迅速に対応できます。AXCELIS ES3エッチャー/アッシャーチャンバーは、2つのプロセスチャンバーと統合されたトランスファーシステムの組み合わせです。エッチャーチャンバーは、時間制御プロセスとエッチングプロセスを優れた制御を提供する大規模なガス流量機能を備えています。アッシャーチャンバーは酸素大気中の動的酸化を利用して、ウェーハ上の有機物を迅速に除去します。これは、将来の柔軟性と拡張性を可能にする拡張ポートで設計されています。一体型トランスファーユニットは、高いスループットと生産性を確保するために設計されたロボットアームとシャトルで構成されています。ES3エッチャー/アッシャーは、エッチングとアッシュプロセスの両方で一貫した均一な結果を可能にする信頼性の高い強力なマシンです。直感的なユーザーインターフェイスを備えているため、使いやすく、生産性の最大化に役立ちます。デュアル周波数制御ツールは、プロセスを正確に制御し、低コストで正確なエッチングとアッシングを可能にします。この統合ソリューションは、ユーザーに完全なエッチング/アッシングソリューションを提供し、優れた結果を達成するために必要なすべてを提供します。