中古 AXCELIS / FUSION ES3 #293617650 を販売中

AXCELIS/FUSION ES3は、マイクロエレクトロニクスデバイス製造用の高性能で信頼性の高いアッシャー/エッチャーです。この装置は、単一のロードロックと高信頼性ウェーハハンドリングカセットシステムを備えており、最高精細なエッチングおよびアッシングプロセスを提供します。このユニットは、フォーカスとビームアライメントの正確な位置決めのための洗練されたビームビームライン制御マシンを使用しており、今日の最先端のデバイスのエッチングおよびアッシング制御要件に均一性とレイヤー制御を提供します。FUSION ES3エッチャー/アッシャーチャンバーは、一度に最大30個のウェーハを処理できる、高いウェーハスループットを実現するように設計されています。スイッチング時間が速く、フォーカスとビームの微調整が可能で、再現性に優れています。ビームビームライン制御ツールは自己調整が可能で、凸面と凹面のプロファイル制御と均一性と鋭いエッジ制御の両方を備えたマルチレベルエッチングとアッシングに適しています。アセットには、PLD、 IPD、 PECVDなどの標準プロセスを使用して、アルミノケイ酸ガラス、石英、SiC、 SiGをエッチングおよびアッシャーする機能があります。このチャンバーは、ショットノイズを最小限に抑え、粒子充電の蓄積を低減し、ナノメートル制御と均一性を向上させるために、絶縁基板バイアスを備えています。このモデルには、最高品質のエッチングパターンを確保するために、可変チャンバー温度制御や射出制御などの高度な機能も含まれています。AXCELIS ES3は、最新の高出力無線周波数発生器を使用しており、高密度容量性マッチングにより安定した出力を提供し、エッチングおよびアッシング工程において高性能かつ高収率を実現しています。RFジェネレータとチャンバーは、ホットスポットを防ぎ、高い均質性を提供するように設計されており、より迅速な実行とより高い収率を可能にします。ES3エッチャー/アッシャーは、信頼性と実績のあるウェーハハンドリングカセットと低コストの均一なエッチングプロセスにより、最大の歩留まりを目指して設計されています。高速スイッチング時間と精密なビーム制御を組み合わせた先進的な機能を備えたこの機器は、最先端のマイクロエレクトロニクスデバイスに最適です。