中古 AXCELIS / FUSION ES3 #293616813 を販売中

AXCELIS/FUSION ES3は、FUSION Technologiesによって設計および製造された高度なエッチャー/アッシャー装置です。湿式および乾式の両方のエッチング/灰プロセスで高度なエッチング/アッシュ機能を提供します。FUSION ES3は独自のデュアルチャンバー設計により、幅広いエッチング/アッシュパラメータを素早く簡単に変更できます。1時間あたり最大35ウェーハの高速処理が可能です。AXCELIS ES3には、高度なEPICAL （e-Process Image-Control Ashing）技術が組み込まれており、手動で介入することなく、高度な精度でエッチング/アッシュパラメータを正確に制御できます。EPICALは、ウェーハイメージング、パラメータ最適化、および高度なプロセスコントロールユニットを組み合わせて、最適なエッチング/灰のパフォーマンスを保証します。この技術は、特に高いアスペクト比、高層厚さ、および大型フィーチャーのサイズを含むアプリケーションで、優れた再現性を備えた堅牢なプロセス実行を提供することが証明されています。ES3は、その使用環境の観点からも汎用性があります。さまざまなベルト構成、真空接続、ハードウェア設定で構成できます。このマシンには、直感的で簡単なユーザーエクスペリエンスを提供する大きな動的タッチスクリーンユーザーインターフェイスも付属しています。スクリーンは容易な運行のために設計され、オペレータにさまざまなプロセスおよび調理法へのアクセスを速くそして便利に与えます。AXCELIS/FUSION ES3は、優れた安全性とエネルギー効率も提供します。このツールには、アセットの出力を常に監視し、自動的に変調する特別に設計されたE-Safe機能が装備されています。この機能により、精密なエッチング/アッシュレベルが保証され、過剰エッチングのリスクが極めて低くなります。また、高エネルギープロセス中でも過熱を防止し、モデルの性能を維持するための保護装置も設置されています。最後に、FUSION ES3はその堅牢なプロセス制御機能で有名です。この装置は、エッチング/灰プロセス、そのレシピ、計測データ、およびその他のプロセスパラメータをリアルタイムで追跡するために使用できるユニークなプロセスモニタを備えています。AXCELIS ES3は、データ分析、データストレージ、レポート作成にも数多くのオプションを提供しています。これらの機能のすべては、ES3今日の市場で最も先進的なエッチャー/アッシャーの一つになります。