中古 AXCELIS / FUSION 200 MCU #9399673 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 MCUは、半導体業界で使用される先進的なマイクロプロセッサベースの紫外線露光装置です。このシステムは、高いスループットと柔軟性でプロセス制御を容易にします。この露出ユニットには、特許取得済みの油圧エミッションモジュール（HEM）と、高速で正確で繰り返し可能な基板の位置決めを提供するスマートシート基板ポジショニングマシン（SSSPS）が含まれています。このツールはまた、HEMとSSSPS間の複数の基板の搬送を可能にするロボット搬送モジュール（RTM）を備えています。油圧エミッションモジュールは、アセットの基板アライメント、光強度制御、線量制御を処理する特殊なコンポーネントのセットです。6列の紫外線を放射することができ、基板を光源に均一に露出させることができます。Smart Seat Substrate Positioning Modelを使用すると、各露出パルス中に基板を反復的に配置できます。その高度なアルゴリズムは、基板とマスク間の接触を最適化するために、高速で正確なフィードバックループを実行します。これには、ビジョンセンサ、レーザープローブ、微細なZ軸調整、基板セットアップパラメータを組み合わせて使用します。Robotic Transport Moduleは、HEMおよびSSSPSから基板をロードおよびアンロードすることにより、基板処理プロセスを簡素化します。それは露出プロセスの各サイクル間の時間の遅れを減らす基質のコンベヤー装置の移動の同期を可能にします。FUSION 200 MCUは、データ分析、プロセス制御、最適化のためのソフトウェアツールの完全なセットをユーザーに提供します。レシピとプロセスパラメータを保存および表示する機能を提供し、複数のエクスポージャーからのデータを含むレポートを生成することもできます。AXCELIS 200 MCUは、基板のサイズ、形状、材料の広い範囲のために設計されています。その先進的な光学設計により、基材の厚さやプロセス条件の変化に対応できます。さらに、ライフサイクル効率の向上により、最大の生産性を提供します。全体として、200 MCUは高度で高いスループットと柔軟な露出システムであり、プロセスの制御と効率の向上をユーザーに提供します。その高度なコンポーネントとソフトウェアツールは、露出プロセスを最適化し、正確な制御と露出プロセスの最適化を保証します。