中古 AXCELIS / FUSION 200 MCU #9257180 を販売中
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AXCELIS/FUSION 200 MCU （マルチキャビティUVC）は、集積回路の製造に使用される超精密フォトリソグラフィ露光装置です。このシステムは、400ワットのアークランプを備えた超高速キセノンフラッシュランプを使用して、迅速かつ正確な露出を実現します。高精度・高解像度を実現する高度な光学系を搭載し、ライン幅の精度と低減を実現しています。ダイクロイックミラー、コンデンシングレンズ、フィルターはすべて、高度な材料から最高品質の基準まで製造されています。FUSION 200 MCU露光機は、1露光あたり1msという非常に高速な露光時間で、超微細な解像度と優れたスループットを実現します。高速で高精度なステップと、自動化されたアライメントと登録によるリピート操作機能を備えています。AXCELIS 200 MCUは非常にユーザーフレンドリーで人間工学に基づいています。このインターフェイスには、包括的なワークフロー機能を提供するレシピ管理機能も含まれています。また、露光装置にウェーハや基板を搭載するためのロボットエンジンや、マスクや基板の正確な位置決めとアライメントのためのハードウェア層を採用しています。200 MCUは、ビームスプリッタ、超高真空、超低粘度、および低コントラストレギュレータの最新の開発を利用して、再現可能な露出精度を提供します。また、マスクマークが少ないフルチップアライメント用の高解像度フィルムアライナーを備えています。このシステムには、開発時間を短縮する自動エッジビーズ測定ユニットと、CADやバッチモードなどの包括的なソフトウェアパッケージがあり、回路図、レイアウト、露出制御機能の全範囲を提供します。AXCELIS/FUSION 200 MCUは、正確なエッチングのためのレーザスクライブ装置と組み合わせて使用することもできます。FUSION 200 MCUは、最高レベルの精度と精度を提供することに優れ、高品質の集積回路製品を提供することができます。
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