中古 AXCELIS / FUSION 200 MCU #293759045 を販売中
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AXCELIS/FUSION 200 MCUは、集積回路の製造における半導体プロセスに使用されるように設計された先進的な露光装置です。マスクステージは最大320mm/s、スループットは最大33枚/時間です。FUSION 200 MCUはまた、優れた粒子および汚染制御のための高度なマルチレベルガス排気システムを備えており、粒子および副生成物の微量レベルを1 cm3あたり20粒子未満に抑えています。AXCELIS 200 MCUは幅広い仕様と機能を提供しており、製造メーカーは高度な半導体製造プロセスを迅速に開発および精製することができます。高度な光学系により、このマシンは最大140 mJ/cm2の光レベルを提供し、8インチ/200 mmまでのサイズのウェーハを継続的に引っ張ってプッシュすることができます。変化する生産ニーズに迅速に対応するために、さまざまな露出技術を切り替えることができます。さらに、最先端のオートフォーカスユニットにより、基板表面全体にタイトで反復可能なフォーカスが可能です。200 MCUには、自動ウェハ認識、プロセス性能最適化、UVモニタリングマシン、ガス噴水ツールなど、さまざまなサービスと機能が含まれています。また、レポート、監視、カスタムレシピなどのさまざまな機能を提供するユーザーフレンドリーなソフトウェア資産もあります。このマシンには、特定の領域に複数のパスを持つ精密露出用の高度なパターンオーバーレイと、プロセスの正確な温度変動を保証するウェーハ熱容量テストモデルも含まれています。さらに、最小線の幅が2ミクロン、最小層の間隔が0。8ミクロンにもなります。AXCELIS/FUSION 200 MCUを活用することで、製造メーカーはプロセス・エラーのリスクを低減しながら、より高い生産効率とコスト削減を実現できます。強力な機能を備えたこのマシンは、今日の半導体製造基準と期待の増大する要求を満たすことができます。
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