中古 AVIZA / SPTS Omega i2L #293647178 を販売中
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ID: 293647178
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2007
ICP Etcher, 8"
ICP Chamber
ESD Chuck
ESC
ADVANCED ENERGY Paramount 1513 RF Generator, 1.5 kW
HiLight 133 RF Generator, 300 W
Spectrum view / End point detector
Gases:
BROOKS AUTOMATION MFC
N2 (Purge)
Ar
N2
O2
O2
CHF3
CF4
BCL3
CL2
Missing parts:
CU500 Chiller
Dry pump
Panels
ISOPOD Power
2007 vintage.
SPTS Omega i2Lは、様々な材料の高真空処理のために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。幅広いプロセスオプションを備えたパワフルでフレキシブルなエッチング装置を備えているため、お客様はさまざまな材料でさまざまな複雑な機能を迅速かつ確実に生産できます。システムの中核は、エッチングプロセスの選択に高い柔軟性を提供するさまざまな制御エッチングガスを備えた強力なシングルウェーハ真空エッチャーソースです。エッチング源は、3〜200nm/minの大きなエッチング速度範囲を持ち、反応性イオンエッチング（RIE）、等方性エッチング、および深い異方性エッチングを実行することができます。幅広い定義のエッチングガスに対応しているため、ターゲット材料に合わせたエッチングプロセスが可能です。オメガi2Lはシングルウェーハアッシャーも備えています。これにより、お客様は、効率と生産性を向上させるために、同じユニットでエッチングとアッシングの両方のプロセスを完了することができます。アッシャーは高品質のプラズマ源を備えており、1000℃から600℃までのアッシングプロセスが可能です。また、酸素の流れを自動制御する機能も備えているため、ターゲット材料に応じてアッシング工程を調整しやすくなります。エッチャー/アッシャーに加えて、SPTS Omega i2Lには、電子ターボポンプと2つの粗いポンプを備えた統合真空機も含まれており、高レベルのプロセス安定性と性能を提供します。これにより、さまざまなチャンバーサイズの高真空プロセス条件を実現し、最適なプロセス結果を保証します。要約すると、Omega i2Lは、幅広いプロセスオプションを提供する高度なエッチャー/アッシャーであり、お客様はさまざまな材料で複雑な機能を迅速かつ確実に生成できます。また、統合された真空ツールとさまざまな自動化されたプロセスが含まれており、高いレベルの性能とプロセス安定性を提供します。これは、幅広いクリティカルエッチングおよびアッシング用途に最適です。
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