中古 AVIZA Celsior #293821839 を販売中

AVIZA CELSIORは、精密で信頼性の高いプロセス結果を提供するように設計された高度なエッチング/アッシング機です。それは電子、化学薬品および生物医学の企業で主に使用されます。この機械は、低圧凝縮エッチングと高温アッシングプロセスの組み合わせを利用しています。これにより、プロセスの総変動は0。1％ wt未満になります。これにより、高い信頼性とプロセスの歩留まりが向上し、通常よりも高い精度の結果が得られます。CELSIORには、より高いガス流量安定性と等熱エッチング条件を提供するPFA内部チャンバーが装備されています。PFA材料はまたそれを非常に耐食性にします。特許取得済みのガス制御装置により、エッチングプロセスを最適化し、最高の製品ウェーハに最適化できます。また、QuickStart™セルフテスト機能を搭載し、エッチング開始までのセットアップ時間を短縮します。システムは、内蔵のメーターを使用して遠隔監視することもできます。この機能により、プロセスの温度と条件を表示し、潜在的な問題を迅速に特定して修正することができます。また、自動タイマーユニットを内蔵しており、エッチングとアッシングを繰り返すことができ、信頼性と再現性の高い結果を提供するのに役立ちます。AVIZA CELSIORも完全に自動化されており、オペレータのエラーのリスクを排除します。利用可能な最高温度サイクルと互換性があり、最も困難なプロセスにも適しています。CELSIORはまた、1つのエッチングまたはアッシングステップが失敗した場合、機械は自動的に有毒ガス漏れやその他の潜在的な危険を防ぐことを遮断することを意味する内蔵の安全インターロックマシンを備えているため、優れたレベルの安全性を提供します。AVIZA CELSIORは、優れたプロセス性能を提供する信頼性と正確なエッチング/アッシングツールです。シンプルで操作が簡単で、幅広いエッチングやアッシング操作に適しています。CELSIORは信頼できる、精密なエッチングおよびashing機械を捜すそれらのための理想的な選択です。