中古 ATIS Tiwn station #9292738 を販売中

ATIS Twyn Stationは、材料研究室で使用するために設計された高速エッチング/アッシング装置です。これは、平らなサンプルと3Dサンプルの両方を微細な均一な基板に変換するために使用され、さらなる分析に使用できます。ATIS Twin Stationは、従来のエッチング/アッシング機器に比べて、2つのウェーハを並列に処理する機能を備えています。これにより、インストゥルメントサイクル時間が大幅に短縮され、サンプル処理のターンアラウンドが高速化されます。同一ウェーハ上でエッチングとアッシングステップを同時に生成することが可能で、超高密度デバイスに最適なシングルステップ処理ソリューションを提供します。さらに、ATIS Twin Stationは、標準的なエッチング/アッシングプロセスに効率と再現性を追加する拡張オートメーション機能を備えています。これには、プロセスパラメータの精密または再調整、オフサイト顕微鏡、自動リフトオフによるサンプル調製が含まれます。一貫した均一な処理結果を得るために、ATISツインステーションには幅広い温度および圧力設定に対応できる真空チャンバーが装備されています。また、調節可能な攪拌機構を採用し、サンプルローディングシステムと内部加熱コイルを使用して、均一な熱配分を実現しています。さらに、ATIS Twin Stationには、処理中のガスの流れ、温度、圧力、およびチャンバーの清浄度を監視するための高度な診断機能が含まれています。これにより、より正確な結果が得られ、プロセスの露出が少なくなり、一貫性のある技術制御が可能になります。全体として、ATIS Twin Stationは洗練されたエッチング/アッシング機器であり、研究室や製造室での使用に適しています。高度な自動化およびプロセス監視機能により、優れた再現性が得られます。一方、2ウェーハ並列処理方式により、ターンアラウンドタイムが短縮され、最終製品の歩留まりが向上します。