中古 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200 #9059484 を販売中
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ID: 9059484
ウェーハサイズ: 2 to 8
ヴィンテージ: 2012
ICP-RIE system, 2"-8"
Specifications:
Chamber Materials: Anodized Al 6061T6
ICP Power: 1000 ~ 2500 W (Option)
Bias Power: 300 ~ 600 W (Option)
Wafer Numbers / Size: (13 - 1) pcs
Gas Lines with MFCs: 6 Standard Lines
Plasma Density: > 1E+11 ions/cm3
Reactor Base Pressure: < 1E-6 Torr
Process Pressure Range: From 0.1 to 100 mTorr
Substrate Cooling (Option): Chiller ( 5 ~ 35℃), or (RT-150℃)
Pumping System: Turbomolecular Pump + Rotary Pump or Dry Pump (Option)
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Load/Unload (Option): Vacuum Robot Transport
Load-Locks Pumping System(Option) : Rotary Vane Pump
Load-Locks base Pressure(Option) : < 1E-2 Torr
Automatic Control System: Industrial PC with Graphic Control Interface
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 100A,
Gas Inlet Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20。, 25 l/min
2012 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CIRIE-200は、プロのエンジニアリングおよび電気アプリケーションの要求を満たすように設計されたプレミアムエッチング機です。この最先端のデバイスは、卓越した精度と精度で迅速かつ正確な結果を生成することができます。AST CIRIE-200は、高度な設計と建設の原則を利用して、各操作が効率的に実行されるようにします。最も印象的な機能の1つは、自動化されたプロセスが手動で介入することなく実行されるため、プロセスはさらに信頼性が高まります。機械には強力なモーターと柔軟なドライブトレインが装備されており、切断速度、ブレード圧力、トルクを自動的に調整できます。その優れたモーションコントロールにより、時間の経過とともに精度と精度が一貫したレベルで維持されます。ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200はまた、そのアスベストスフリー操作を可能にするユニークな空気パージ操作を備えています。この機能は、危険な粉塵、粒子、および発煙からオペレータと製品の両方を保護するのに役立ちます。また、優れた5軸ドライブユニットを備えており、優れた精度と比類のない速度を提供します。スカイビングテーブルは0。001インチから1。500インチの厚さの0。0002インチの正確さのまな板を可能に±ます。これにより、複雑で詳細なエッチングに最適です。その印象的なパフォーマンスに加えて、CIRIE-200は、高度な安全機能の様々な装備されています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスによりセットアップと操作が容易になり、精密な自動シャットダウン機能により、正確で安全な動作を保証します。マシンの強力な緊急停止機能は、危険な状況を防ぎ、オペレータを保護するのに役立ちます。成功と卓越した性能を確保するために、AST/ADVANCED Machine TECHNOLOGY CIRIE-200は、電力およびデータ管理に関するすべての産業基準を満たすように設計されています。この機械には、信頼性の高い温度および電圧監視ツール、ならびに高精度性能のための空冷水素冷却アセットが装備されています。機械はまた頑丈な鋼鉄棚の土台、速く、容易な組み立てのためのモジュール構造、およびプロダクト管理のための十分な貯蔵および制御キャビネットを特色にします。要するに、AST CIRIE-200は、プロのエンジニアや電気アプリケーションに最適なエッチング機です。その優れたモーションコントロールとエアパージされた操作により、迅速かつ正確で信頼性の高いパフォーマンスが保証され、高度な安全機能によりオペレータと製品の安全性が維持されます。堅牢な鋼構造、空冷水素冷却、温度モニタリングモデルにより、このエッチング機は真にあらゆる産業規格に適合します。
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