中古 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200 #192121 を販売中

AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CIRIE-200は、半導体加工などの精度と精度を必要とするアプリケーションにおいて、一貫した信頼性の高いエッチングおよびアッシング結果を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。AST CIRIE-200は、高い均一性と信頼性を備えた正確なエッチングと灰を実現するために、リニアビームシステムで動作します。このユニットは、均一な異方性の特性を提供することができます、レイヤースタックオーバーまたは材料ブリッジを除去しながらシャープなエッジを生成し、したがって、円滑な構造を確保します。ADVANCED Machine TECHNOLOGY CIRIE-200の堅牢な設計により、直径8インチまでのウェーハあたりの最大エッチング時間が3分で、高いスループットレートを実現します。この印象的なスループット機能は、幅広いエネルギー供給範囲を持つリニアビームツールによって可能になり、幅広い材料のニーズを満たすことができます。サブナノ秒パルス発生器を内蔵しており、化学副産物を発生させずに瞬時に熱エネルギーを供給することで、壊れやすい材料の加工に最適です。CIRIE-200は非常に汎用性の高いモデルで、さまざまな温度と厚さの材料の複数の層をエッチングすることができます。これにより、幅広いエッチングパラメータに対応するため、機器の校正が容易に行えるため、特殊なエッチングプロセスに最適です。直感的なヒューマンマシンインタフェース（HMI）を採用し、ユニット操作に関する詳細なフィードバックをユーザーに提供し、簡単な操作とメンテナンスを可能にします。AST/ADVANCED Machine TECHNOLOGY CIRIE-200は、ツールの損傷や怪我を防ぐために自動安全シャットダウンを備えた厳しい安全基準に基づいて構築されています。アセットは、人間とコンポーネントの両方が潜在的なエッチングとアッシングの危険から安全であることを保証します。このモデルはまた、マイクロ波プラズマ操作に関連する潜在的なリスクを低減するための二重絶縁技術を備えています。結論として、AST CIRIE-200は非常に高度なエッチャー/アッシャーであり、高いスループットレートで一貫して信頼性の高い結果を保証します。堅牢な構造と汎用性の高いキャリブレーション機能を兼ね備えているため、エッチングやアッシングアプリケーションに最適です。