中古 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100 #9059485 を販売中
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ID: 9059485
ウェーハサイズ: 2 to 8
ヴィンテージ: 2012
ICP-RIE system, 2"-8"
Specifications:
Chamber Materials: Anodized Al 6061T6
ICP Power: 1000 ~ 2500 W (Option)
Bias Power: 300 ~ 600 W (Option)
Wafer Numbers / Size: (13 - 1) pcs / (2"- 8")
Gas Lines with MFCs: 6 Standard Lines
Plasma Density: > 1E+11 ions/cm3
Reactor Base Pressure: < 1E-6 Torr
Process Pressure Range: From 0.1 to 100 mTorr
Substrate Cooling (Option): Chiller ( 5 ~ 35℃), or (RT-150℃)
Pumping System: Turbomolecular Pump + Rotary Pump or Dry Pump (Option)
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Load/Unload (Option): Vacuum Robot Transport
Load-Locks Pumping System(Option) : Rotary Vane Pump
Load-Locks base Pressure(Option) : < 1E-2 Torr
Automatic Control System: Industrial PC with Graphic Control Interface
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 100A,
Gas Inlet Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20。, 25 l/min
2012 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CIRIE-100は、エッチング/アッシング技術の革新的な開発です。このシステムは、最も要求の厳しい企業に最先端のエッチング/アッシング技術を提供します。その最先端の技術は、正確な構造特性と高精度と生産性を提供します。AST CIRIE-100は、高度なプロセスで1つのシングルパスで基板とパネルの両方をエッチング/アッシュできます。これは、選択的なエッチング深度と材料の除去を可能にするさまざまなプロセスガスを利用して、高精度で再現性の高い構造になります。高度なプロセス設計により、ADVANCED UNIT TECHNOLOGY CIRIE-100は、FR-4、 Cem-3、ポリイミド、アルミニウムなどの幅広い基板およびパネル材料に対応しています。CIRIE-100のモーターを備えた高さ調整機は、ダウンタイムを最小限に抑えながら、工具交換を素早く簡単に行うことができます。このツールはまた、高速スキャンアルゴリズムを備えた高度なモーションコントロールとドライブアセットを備えており、エッチング機能の解像度を高速化します。その密接に統合されたモジュラー設計により、多目的な統合と拡張性を顧客のニーズに合わせて調整することができます。AST/ADVANCED MODEL TECHNOLOGY CIRIE-100は、統合された再循環装置と、さまざまなプロセス要求に対応できる高度なプロセス機能を含む、さまざまな追加機能と構成を提供します。ユーザーフレンドリーで直感的なコントローラーインターフェイスと、手動レシピとプログラム可能レシピの両方を生成する機能を備えています。システムは、自動、半自動、および手動モードで動作します。また、AST CIRIE-100は、偶発的な損傷やオペレータの安全からユニットを保護するためのさまざまな高度な安全機能を提供しています。これらの機能には、統合されたインターロック、NFPA安全コンプライアンス、および防塵機能が含まれます。機械はセリウムによって証明され、ULに迎合的それをいろいろな産業適用で使用すること安全にさせます。ADVANCED Tool TECHNOLOGY CIRIE-100は、信頼性が高く効率的な高度なエッチング/アッシングソリューションを提供します。CIRIE-100の最先端の機能と高度なプロセス機能により、ユーザーは精度と生産性を向上させることができます。
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