中古 ARC ENERGY CHES400 #293667292 を販売中

ARC ENERGY CHES400は、さまざまな作業を簡単に操作できるように設計されたエッチャー/エイサーです。この装置は真空装置を使用して、テスト中のデバイス（DUT）を強力なプラズマ源にさらし、非常に選択的で繰り返し可能なデバイスのエッチングまたはアッシングプロセスを作成します。このプロセスチャンバーは、プラズマを生成するためのプレチャンバー、真空エッチングまたはアッシング処理を含む反応チャンバ、反応チャンバに反応ガスを導入するためのガス供給システムを備えた3チャンバー設計を特徴としています。CHES400装置にはRFジェネレータが内蔵されており、無線周波数信号を生成してエレクトロスパークプラズマ反応を生成します。ARC ENERGY CHES400のRF電源は0。05〜15kWの範囲で、幅広いプラズマエッチング/アッシング処理が可能です。コンピュータ制御のプログラマブルロジックコントローラを使用すると、ユーザーがプログラマブルプロセス構成を行うことができ、ユーザーはプロセスをカスタマイズして正確な要件を満たすことができます。CHES400装置の洗練されたレチクル位置決めユニットには、高度なモーションコントロール機能が含まれています。装置装置には、反応チャンバー内の最適な動作条件を確保するための真空工具とガス供給システムも含まれています。DUTの過度の加熱を防ぐために、ARC ENERGY CHES400には、あらかじめ決められた設定点でエッチング温度を維持するための高度な冷却アセットも含まれています。CHES400にはトップハット式圧力室もあり、反応室からのガスの自動排気と排気を可能にします。ARC ENERGY CHES400装置は、信頼性、再現性、再現性に優れたエッチング/アッシング操作を提供するよう設計されており、幅広い用途で優れた性能を発揮します。洗練されたモデルは、材料エッチング損失を最小限に抑え、DUTへの損傷を最小限に抑えて、非常に均一なエッチングプロファイルを作成することができます。また、エッチング/アッシング工程も高い選択性と再現性を備えており、エッチング性能の安定した管理が容易です。また、高圧センサー、緊急遮断、警報などの安全機能を備え、危険な状況から人員や機器を保護します。全体的CHES400は、幅広い用途において信頼性、再現性、再現性の高い性能をユーザーに提供する高度なプラズマエッチング/アッシング装置です。この装置は容易な操作のために設計され、特定のエッチングの必要性に適するエッチング/灰の開発および習慣操作のための顕著な柔軟性を提供します。