中古 APTC Selex #9382377 を販売中

APTC Selex
ID: 9382377
Si Etcher, 12" TSV Deep.
APTC Selexは、高度なプラズマ強化化学蒸着(PECVD)、エッチング/アッシング装置であり、プロセスパラメータを正確に制御できるように設計されています。この精密制御により、小型、高精度の金属構造および特徴の堆積および製造が可能になります。このシステムは、高周波の電波を利用してプラズマ放電や高圧DCアークを作成し、非常に高いレベルの精度で材料をエッチングします。この2つの技術を組み合わせることで、セレックスは蒸着とエッチング/アッシングの両方に非常に汎用性の高いユニットとなります。このマシンには、さまざまな種類の材料に最適化するように設計されたさまざまなガス供給ラインとチャンバーが付属しています。これには、さまざまな材料の均一なエッチングを提供できる高密度の石英原子炉が含まれています。また、エッチングパターンと材料堆積物を正確に制御するための調整可能な温度範囲を備えた小さな二次原子炉も備えています。プロセスパラメータを正確に制御することで、小さな高精度構造の再現性と信頼性の高い製造が可能になります。このツールには、使いやすいコントローラとソフトウェアのセットも含まれています。直感的なソフトウェアは、プロセスで利用される異なる材料を処理するために特別に設計されたプロセスレシピの範囲の迅速なセットアップと配信を可能にします。ソフトウェアはまた、個々のプロセスステップごとに正確な調整を行うことができます。これにより、エッチングプロセスを微調整して最適な結果を得ることができます。APTC Selexアセットのもう1つの特徴は、処理された部品の自動追跡のためのリモートRFIDコードリーダーを統合する機能です。これを利用することで、生産サイクルのあらゆるプロセス・ステップに明確な監査証跡を提供することができます。生産される各製品の貴重なデータを提供し、製造工程を改善したり、生産上の問題を迅速かつ正確に特定したりすることができます。要するに、Selexは高精度の構造の範囲を正確にエッチングし、沈殿させることができる多目的なエッチング/アッシングモデルです。高周波の電波を利用してプラズマ放電やエッチング材料への高電圧DCアークを生成します。ユーザーフレンドリーなコントロールとソフトウェアにより、各プロセスステップを簡単に微調整でき、繰り返し可能な結果が得られます。リモートRFIDコードリーダーを統合する機能はまた、生産プロセスの改善のための貴重なデータを提供します。
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