中古 APPLIED MATERIALS P 5000 XT #293816179 を販売中
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ID: 293816179
Cluster plasma tool
Materials: Poly, nitride
He backing
2-Chamber Narrow Gap tool
Robot (Phase 3)
15-Slot storage elevator
ZA Slit valves
Wafer Positioning Sensor (WPS)
2-Stage cassette loadport
(2) Monitors
System SSD
CF сard Floppy Emulator
MXP Unibody chamber
Narrow Gap lid
SEIKO SEIKI STP-301CVB Turbo pump
SEIKO SEIKI SCU-350D Controller
MKS Manometer
(7) BROOKS INSTRUMENT Mass flow controllers
Process Gases: HBr, NF3, NF3-2, N2, He/O2, Ar, CF4
(2) AMAT / APPLIED MATERIALS AMAT-1 Heat exchangers
Stainless steel hoses, 50ft
(2) ENI OEM 12B RF Generators
AC Box.
アプライドマテリアルズP 5000 XTは、先進的な半導体製造プロセス向けに設計された最先端のエッチャー/アッシャー装置です。この高度なツールは、精度、汎用性、信頼性を兼ね備えており、最新のチップ製造の厳しい要件を満たしています。半導体機器のリーディングサプライヤーであるアプライドマテリアルズによって開発されたP 5000 XTは、業界の旗艦製品であり、比類のない性能とプロセス制御を提供します。APPLIED MATERIALS P 5000 XTは、半導体ウェーハ製造におけるエッチングおよび洗浄プロセスに使用されるプラズマエッチャー/アッシャーシステムです。このツールには高度なプラズマ処理機能が搭載されており、高い選択性と均一性でウェーハ表面の材料層を正確に除去できます。この半導体製造の重要なステップは、電子デバイスの機能を定義する複雑なパターンと構造を作成するために不可欠です。P 5000 XTは、幅広い材料およびプロセス化学製品を扱うように設計されており、フロントエンドとバックエンドの半導体製造の両方のさまざまなアプリケーションに適しています。このユニットは、複数のウエハサイズとタイプの処理を可能にする汎用性の高いチャンバー構成を備えており、さまざまな生産要件に柔軟性と拡張性を提供します。APPLIED MATERIALS P 5000 XTの主な特徴の1つは、ガスフロー、圧力、電力、温度などの重要なエッチングパラメータを正確にチューニングできる高度なプロセス制御機能です。このレベルの制御により、半導体メーカーは、ウェーハ全体で高い再現性と均一性を備えた、望ましいエッチプロファイルと材料除去率を実現できます。また、プロセスの安定性と信頼性を確保するために、リアルタイムの監視およびフィードバックメカニズムも組み込まれています。P 5000 XTはエッチングに加えて、ウェーハ表面から有機汚染物質や残留物を除去するために不可欠なアッシング処理も行うことができます。この機能は、少量の汚染物質であってもデバイスの性能と信頼性に影響を与える可能性があるため、製造されている半導体デバイスの清潔性と完全性を確保するために重要です。アプライドマテリアルズP 5000 XTには、高密度で均一なプラズマを提供する最先端のプラズマ源が装備されており、効率的な材料処理が可能です。このツールは、エッチング時のウェーハ充電効果を正確に制御するための高度なRFバイアス機能を備えており、損傷を最小限に抑え、プロセスの均一性を向上させます。P 5000 XTのチャンバー設計は、高いスループットと効率的なガス配分のために最適化されており、ウェーハ表面全体で迅速かつ均一な処理を保証します。さらに、APPLIED MATERIALS P 5000 XTには、操作を合理化し、ヒューマンエラーを低減する高度な自動化およびソフトウェア制御機能が組み込まれています。この資産には、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと、複雑なプロセスの簡単なセットアップと操作を可能にするプログラム可能なレシピ管理ツールが装備されています。このレベルの自動化により、半導体メーカーは、高速な生産環境で高い生産性とプロセス効率を達成できます。全体として、P 5000 XTは、高度な半導体製造プロセスの標準を設定する最先端のエッチャー/アッシャーモデルです。精度、汎用性、信頼性を備えたこのツールは、最新の半導体製造設備の重要なコンポーネントであり、高性能で信頼性の高い電子デバイスの生産を可能にします。半導体技術の進歩が進むにつれて、アプライドマテリアルズP 5000 XTは、イノベーションの最前線にあり、進歩を促進し、半導体産業の新たな可能性を可能にしています。
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