中古 ANTON PAAR HPA-S #293638236 を販売中

ANTON PAAR HPA-S Etcher/Asherは、研究室やその他のアプリケーションでの使用に最適な、革新的で費用対効果の高いエッチングおよび金属蒸着装置です。HPA-Sシステムは、高性能の金属エッチングと成膜と優れた精度と精度を兼ね備えています。このユニットは、様々な基板（シリコン、ガラス、セラミックス、金属など）に厚さ数ミクロンまでの金属層を堆積することができます。5軸ロボットアームと高精度の静電チャックを備えたアントンパールHPA-Sは、精度、柔軟性、性能を兼ね備えています。HPA-Sは、フットプリントを最小限に抑え、さまざまなスペースに収まるように設計されています。ターンキーマシンは、高精度エッチングチャンバーや静電チャックプレートなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。室内では、水素と窒素の制御された雰囲気がエッチングや堆積物の作業に使用されます。内部部品は信頼性、長期的な性能、および最適な操作のために合わせられます。高精度の統合により、優れた均一性と正確な温度制御が保証され、ユーザーは構造や特性を変更することなく材料を正確にステップ、スポット、または掃引することができます。ANTON PAAR HPA-Sは、水素プラズマまたはアルゴンプラズマと酸素リッチプラズマ（ORP）技術を組み合わせる原理に従います。これにより、異なる基板でエッチングするための非常に高い精度を達成することができます。エッチャーとして、HPA-Sは高解像度と高エッチング率を実現し、スパッタリングを最小限に抑えた優れた最終結果と異方性をもたらします。そしてasherとして、それは大きい部品および側面の優秀な均等性を提供できます。ANTON PAAR HPA-Sは、半導体デバイス製造、パッケージング、MEMS、医療インプラントなどの用途に使用するように設計されています。さらに、HPA-Sツールには、ユーザーが望むエッチングと蒸着プロセスを簡単かつ迅速にプログラムできる最高級のソフトウェアが装備されています。ソフトウェアは、さまざまなエッチングパラメータを調整し、リアルタイムで機器の結果を監視し、より高速なプロセスサイクルと高い生産スループットを可能にします。ANTON PAAR HPA-Sはまた厳密な安全および環境の規則に従います、従ってユーザーは安全で、責任がある操作を保証することができます。HPA-Sは、エッチングと金属蒸着のための優れたユーザーフレンドリーなソリューションを提供しています。ANTON PAAR HPA-Sは、高性能で高精度な機能を兼ね備えており、研究および産業用アプリケーションに不可欠なツールです。