中古 ANATECH / TECHNICS SP150 Quartz #9249322 を販売中

ANATECH/TECHNICS SP150 Quartzはエッチャーとアッシャーです。半導体業界で最も先進的なシリコン加工技術の1つであり、エッチング、パターニング、堆積用途に最適です。ANATECH SP150 Quartzは、非常に高い精度と精度で複雑なパターンを生成することができます。フォトマスク製造や基板エッチングなどのフロントエンドプロセスに最適です。テクニクスSP150クォーツは、エッチングに指向性イオン化ビームを使用しています。このビームは、荷電粒子ビームカラムによって誘導され、動的ビーム制御によって熱的に生成されます。これにより、エッチング処理を高精度かつ高精度に行うことができます。ビームのパラメータも調整可能で、プロセス制御と柔軟性を向上させます。SP150クォーツは堅牢なフレーム設計を特徴とし、高温プロセスに適しています。フレームはまた耐久性の高いステンレス鋼から成り、酸化および腐食に対してそれを抵抗力があるようにします。また、セルフクリーニングと潤滑要素を備え、メンテナンス要件を低減し、システムを最適な効率で稼働させることができます。ANATECH/TECHNICS SP150 Quartzは、高度なガス流量制御を備えたハイブリッドガスチャンバーを備えており、エッチング工程の全大気制御を提供します。環境を正確に制御することで、望ましくない材料沈着を最小限に抑えることができます。また、インライン阻害剤エッチングシステムも備えており、エッチング処理によるウェーハの損傷を軽減します。ANATECH SP150 Quartzは、完全に自動化されたエッチングプロセスを可能にする強力なロボット統合プラットフォームであるRIPとも互換性があります。RIPは、大規模な生産にとって重要なコンポーネントであり、スループットの向上、優れた品質の提供、サイクルタイムの短縮に役立ちます。TECHNICS SP150 Quartzは全体的に強力なエッチャーとアッシャーであり、材料損失を最小限に抑えながら正確で正確なパターンを作り出すことができます。堅牢なフレーム設計、高度なガスフロー制御、およびRIPとの互換性により、大量生産に最適なツールです。