中古 ANATECH / TECHNICS 600-Series #9123994 を販売中

ANATECH/TECHNICS 600-Seriesエッチャーまたはアッシャーは、エッチングまたはアッシング基板のプロセス用に特別に設計された汎用性の高い機械加工システムです。ANATECH 600-Seriesエッチャー/アッシャーシステムは、最高の性能と柔軟性を提供し、最も複雑な設計でも効率的かつ再現性の高い生産を可能にします。この装置は、独自の1200W RFジェネレータ、石英プラズマチャンバー、カスタマイズ可能なプロセス、迅速かつ簡単なレシピプログラミング、低圧制御、およびその他の高度な機能を備えています。TECHNICS 600 SERIESシステムは、金属、ポリマー、ガラス、半導体、厚膜など、さまざまな材料をエッチングすることができます。このユニットは、ラボと生産の両方のために設計されており、1時間あたり最大600ウェーハの調整可能なスループット範囲を提供します。独自の「チューナブル」プラズマギャップ技術を使用し、精密な再現性を備えた優れたエッチング性能を提供するアークギャップ（AGAP）マシンです。これにより、コストのかかるウェーハムーブメントと面倒なフォーカスコントロールが不要になります。600 SERIESツールは、直感的なオペレータガイダンスと制御を提供する直感的なコンソールベースのソフトウェアも備えています。このソフトウェアは、レシピ設定、プラズマパラメータ、基板の動き、温度制御、ガス、およびその他の重要なプロセスパラメータを制御することができます。柔軟なプログラミング資産により、ユーザーはレシピを素早くアップロードし、さまざまなパラメータを試して最適な結果を生み出すことができます。600-Seriesモデルは、制御された安全な環境でエッチングとアッシングが可能です。エッチング用途には、高感度、高精度、制御に最適な自動マルチガス噴射システムを使用しています。このユニットはまた、エッチング環境を正確に制御できるさまざまなガスクリーナーと組換え機を提供しています。TECHNICS 600-Series機は、エッチングやアッシングに加え、幅広いスパッタプロセスに対応するように設計されています。このツールは、金属合金やシリコン層など、さまざまなスパッタリングターゲットや基板と互換性があります。スパッタプロセス制御機能により、ユーザーは目的の堆積厚とプロファイルを簡単に取得できます。ANATECH 600 SERIESアセットは、ボリュームチャンバー、自動ビジョン、サブミクロンウェーハ解像度、オプションのダブルオーブンカセットモデルなど、さまざまな機能を提供します。この高度なエッチャー/アッシャー装置は、生産性、柔軟性、再現性を最大化する完全なターンキーソリューションです。