中古 ANATECH P600 #9155507 を販売中

ANATECH P600は、半導体、薄膜集積回路、およびその他のマイクロエレクトロニクス部品向けの高度なエッチャー/アッシャーです。これは、強力で汎用性の高いプロセス機能を誇るシングルチェンバーバッチモデルです。このエッチャー/アッシャーは-150〜300°Cの温度範囲で、高アスペクト比1：10以上の超微細機能を迅速に製造できます。そのステンレス鋼の部屋は480リットルの容積があり、均一な温度配分のための6つの500Wヒーター電源が装備されています。そのファン冷却ヒーター要素は、アッシングプロセス中に均一な加熱を提供します。さらに、エッチャー/アッシャーP600 RFプラズマソースを使用して、材料の表面を効率的かつ経済的にクリーニングおよびエッチングします。このモデルは、酸素、窒素、アルゴンなどの乾燥ガスを使用して、エッチング用途の要件を満たすプロセス環境を構築することができます。0〜500ワットの4つのRFパワーレベルを備えているため、さまざまなプロジェクトに最適化されたプロセス条件を作成できます。ANATECH P600エッチャー/アッシャーは、ユーザーがエッチングとアッシングプロセスを成功させるために必要なすべてのパラメータを設定し、調整することができ、3。8インチのLCDインターフェイスを備えています。これには、温度、ポンプ速度、RF電力、流量、およびその他の製品固有のパラメータが含まれます。さらに、プロセス圧力、温度、および真空レベルを監視して、エッチングおよびアッシングに必要な条件を確実に達成することができます。チャンバーにはリーク検出器が付属しており、プロセスが完全な条件を満たすようになる前に修正を行うことができます。etcher/asher P600サンプルの可視性を高め、汚染を減らすのを助ける堅牢な窓のクリーニングシステムを備えています。また、様々な工程の蒸着速度を監視することができる水晶マイクロバランス（QCM）システムを搭載しています。窒素パージシステムはサンプルの酸化を防ぐのに役立ち、水冷された窓は放射熱からの保護を提供します。エッチャー/アッシャーは、多くの異なるガス源と互換性があり、多くのエキシマレーザー、プラズマ、異方性、方向エネルギー沈着、およびその他のアプリケーションに適した選択肢となります。環境に配慮した設計により、持続可能性が非常に重要なラボに最適です。ANATECH P600エッチャー/アッシャーは信頼性が高く、効率的で使いやすく、あらゆるマイクロエレクトロニクス関連アプリケーションに最適なソリューションです。