中古 AMS 602 #293608576 を販売中

AMS 602は、硬質材料のディープエッチングおよびプロファイリングに使用されるリアクティブイオンエッチャー（RIE）です。優れたプロセス再現性と高いプロセススループットを実現するように設計されています。ハイスループットのアプリケーションでも、高度なプロセス制御と安定した条件を備えています。602は高圧装置で、最大バイアス圧力は1。5 Torr （1。5 × 10 − 3 mbar）です。これにより、プロセスが非常に反復可能であり、イオンエネルギーが圧力変動の影響を受けないことが保証されます。AMS 602にはデュアルアノードタイプカソードが装備されており、高度なプロセス再現性を維持しながら高いエッチング率を実現します。デュアル電極は、イオン電流、ガスの流れ、バイアス電圧を独立して制御することができ、エッチングレシピを選択する際に幅広いプロセスパラメータを考慮することができます。このシステムは、エッチングの選択性と表面粗さを高度に制御することもできます。高品質のエッチプロファイルを実現するためには、高レベルのエッチング選択性が重要です。602は、特殊なエッチングレシピを使用し、エッチングガスにドーパントやその他の材料を追加することにより、このレベルの制御を提供することができます。AMS 602には水冷ユニットが内蔵されており、高速プロセスを実現します。冷却機はまた、チラーと工具部品を安全な動作温度に保つのに役立ち、高い信頼性を確保します。水冷アセットはエッチングチャンバーをコスト効率よく冷却するように設計されており、プロセス速度、再現性、品質を最適化します。全体として、602は、硬質材料のディープエッチングおよびプロファイリングに使用すると、優れたエッチング速度、プロセス再現性、および優れた結果を提供するように設計された先進的な反応性イオンエッチャー（RIE）です。プロセス制御、高エッチング率、および信頼性の高い水冷の組み合わせにより、ハイスループットのアプリケーションでも優れた結果が得られます。