中古 AMAT / APPLIED MATERIALS WC MCA #179308 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS WC MCAは、ウェーハ加工用に特別に設計されたコンビネーションエッチャー/アッシャーです。選択した材料を素早くエッチングしてアッシャーし、特定の領域を取り除き、残りのチップをそのままにするように設計されています。統合された真空装置を備えたMCAは、エッチング処理中に粒子や不要な残留物を除去し、プロセスの精度と速度をさらに向上させることができます。さらに、MCAには、エッチング時間を制御および調整し、エネルギー消費を最小限に抑え、スループットを最大化するための堅牢なパワーマネジメントシステムも装備されています。MCAには、ドライエッチングソリューションを必要とするディープエッチングから、特定の材料層と浅い溝を切断する浅いエッチングソリューションまで、さまざまなエッチング用途があります。これにより、プロセスを正確に制御でき、エンドユーザーに効率的で高精度なエッチング結果を提供します。また、MCAは温度制御機能を備えており、エッチングソリューションを正確に温度制御することができ、液体蒸発の影響を排除し、一貫したエッチング速度をサポートします。200-300ワットで評価される力、このエッチング/acherの単位に24インチによって24インチおよび32インチの高さの足跡があります。MCAは、自動化されたウェーハ製造システムに簡単に統合できるように設計されており、シリアルまたはパラレルプロセスのコンフィギュレーションアイトンで使用できます。MCAの小さなフットプリントは、より小さな製造施設での使用に最適であり、その小さなフォームファクタは、狭いスペースに設置できることを意味します。MCAには2つのウェーハカセットがあり、1バッチにつき最大30個のウェーハをエッチングできるため、大量生産が可能です。MCAの制御装置は、エッチング処理を正確に制御することができ、エッチングパラメータの不一致による「エッチングのオーバーシュート」を防止します。さらに、このツールは高度なプロセス監視とデータ収集機能を備えているため、繰り返し可能なプロセスのレシピを保存したり、問題が発生したときに分析用のデバッグ情報を保存したりできます。AMAT WC MCAは、精度とスループットを実現します。MCAは、信頼性と精度の高いエッチングおよびアッシングソリューション、低消費電力、大量スループットにより、生産効率と全体的なコスト効率を向上させるウェーハ製造設備に最適です。