中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Tetra #293633171 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALSテトラは、優れた結果を提供するように設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。この装置は、さまざまな材料の高速エッチングとアッシングを可能にするように設計された4つの異なるプロセスを統合しています。AMAT Tetraは、プラズマエッチング、RIE（リアクティブイオンエッチング）、アッシング、O2エッチングとアッシング、ウェットエッチングとアッシングを組み合わせています。この高度なシステムは、表面と深度の両方のエッチングが可能で、柔軟で効率的な処理能力を提供します。アプライドマテリアルズTetraは、表面材料のエッチングとアッシングに高度なPECVD（プラズマ強化化学蒸着）プロセスを利用しています。低温・低圧でのエッチング・アッシングが可能で、優れた加工結果が得られます。Tetraは非常に迅速な処理時間を可能にするように設計されており、卓越したスループットとデータ取得率をユーザーに提供します。この機械は高性能であり、材料使用率が高く、運用コストが極めて低い。AMAT/APPLIED MATERIALS Tetraは、酸素、NF3、 CHF3、 Arなどの様々なガスを使用するエッチング/アッシュ処理に基づいた高度な反応イオンエッチャー/アッシャーも提供しています。このツールは、複数のサーフェスにわたって非常に均一なエッチングを提供するだけでなく、エッチングの深さと選択性を非常に正確に制御するように設計されています。ウェットエッチングとアッシングもAMAT Tetraでサポートされているため、大規模なアプリケーションでの生産性が向上します。これにより、従来のウェット処理よりもエッチング速度が速くなり、サイクルタイムが短縮され、優れた結果が得られます。APPLIED MATERIALS Tetraは、最大限の柔軟性と効率性を確保するために、さまざまな自動化およびプロセス制御オプションを提供しています。このモデルは、優れたプロセス再現性と信頼性を提供するように設計されており、既存の物理および化学プロセスのチャンバと互換性があります。テトラはまた、統合されたチャンバー閉鎖装置を提供し、追加の封じ込めを必要とせずに、安全性と操作性を向上させます。AMAT/APPLIED MATERIALSテトラは、優れたエッチング/アッシング性能を提供するように設計された先進的なシステムです。プラズマエッチング、RIE、 O2エッチング、ウェットエッチング、アッシングの4つのプロセスを組み合わせ、優れたプロセス結果を提供します。低温・低圧での表面・深度エッチングが可能で、プロセスの再現性と信頼性に優れています。AMAT Tetraは、柔軟なオートメーションおよびプロセス制御オプション、ならびに安全性と操作性を向上させるための統合チャンバー閉鎖ツールも提供しています。