中古 AMAT / APPLIED MATERIALS TELIUS #9109069 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS TELIUS
ID: 9109069
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
Oxide etcher, 12" (3) Chambers 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS TELIUSは、アメリカのチップ製造機器会社AMATによって開発された高度な科学エッチャーおよびアッシャーです。AMAT TELIUSは、エッチャー/アッシャーの最新モデルであり、自動車業界、医療、半導体業界を含む産業市場をターゲットとしています。12。8cm/sの高速および低い維持の条件によって、この装置はすぐに多くのビジネスのための普及した選択になりました。アプライドマテリアルズTELIUSは、高度なガス流量計(GFM)を搭載した多軸システムです。GFMはエッチング/アッシング速度を正確に測定でき、サービスはユニットの統合コンピュータソフトウェアから監視および制御されます。GFMによって、ユーザーはエッチング/アッシング処理を追跡し、それに応じてパラメータを微調整できます。TELIUSエッチングおよびアッシング・システムには、複数のタイプのガス源とマスフロー・コントローラが搭載されており、必要に応じて化学環境を操作することができます。これらのコントローラには、酸素センサー、入口および出口圧力センサー、真空ゲージなどのさまざまな周辺機器も付属しています。これにより、モニタリング結果がより正確になります。AMAT/APPLIED MATERIALTS TELIUSエッチング/アッシャーの最終的な重要な特徴は、機械の洗浄機能です。AMAT TELIUSは、組み込みの化学洗浄機能を使用して後処理粒子を簡単に洗浄するように設計されています。その高度なろ過ツールは、通常のろ過には小さすぎる粒子の除去を可能にし、汚染のないワークスペースを提供します。応用材料TELIUSは産業および研究の使用のために設計されている上限の高度のエッチャーおよびasherです。TELIUSアセットは、正確でユーザーフレンドリーな設計により、お客様の結果を簡単に監視、調整、制御することができます。多軸アーキテクチャ、化学、洗浄機能を備えたAMAT/APPLIED MATERIALS TELIUSは、多くの業界にとって信頼性と費用対効果の高いソリューションです。
まだレビューはありません