中古 AMAT / APPLIED MATERIALS PE-8330 #9148218 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS PE-8330は、集積回路やその他のマイクロエレクトロニクス部品に薄膜誘電体を堆積させるために設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は、精度と精度を最小限の時間でさまざまなフィルムや材料をエッチングすることができます。このツールは、200mm x 490mmのフットプリントにより、生産ラインを統合するためのコンパクトなソリューションを提供します。AMAT PE-8330は、反応イオンエッチング（RIE）と誘導結合プラズマ反応イオンエッチング（ICP）の両方を利用して、幅広い結果を得ることができます。RIEモードは、膜厚の均一性を最適化するために、エッチング選択性が2：1以下の絶縁体の精密エッチングに使用されます。ICPプロセスは、高度な制御を維持しながらエッチング速度を向上させます。APPLIED MATERIALS PE-8330のチャンバーは、0。15MM以下の機械的不均一性を備えた独自の無人自動レベリングプラットフォームを備えています。ドライブフリー設計により、部品の誤荷重なしで連続的なプロセス再現性を実現します。さらに、このツールは、1 Torrチャンバ圧力と最大45kWのRF電力を備えた低応力プロセス環境を備えています。PE-8330のコントローラは、複数のデータ表示モードを備えた独自のプロセスモニタであり、オペレータはリアルタイムでエッチング処理を観察することができます。コントローラは、プロセス制御、追跡、および自動最適化のために最大700のレシピを格納することができます。このシステムは、高速で信頼性の高いエッチングを提供し、安全なプロセス環境を確保します。AMAT/APPLIED MATERIALS PE-8330は、業界をリードする稼働率が90％を超える信頼性の高いユニットです。このツールは、高温および低負荷プロセスを含むさまざまな条件下でも継続的に使用できるように設計されています。堅牢な設計により、メンテナンス要件が最小限に抑えられ、所有コストも低く抑えられます。全体的に、AMAT PE-8330エッチャー/アッシャーは、迅速かつ正確なエッチング結果を提供する使いやすいマシンです。このツールは、自動化された生産のために設計されており、精度と高スループットでさまざまな材料をエッチングすることができます。APPLIED MATERIALS PE-8330は、高度な機能により、プロセスの再現性と最小限のメンテナンス要件を保証する信頼性の高いエッチングソリューションを提供します。